一种超材料近红外宽带吸收器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种超材料近红外宽带吸收器及其制备方法。所述超材料近红外宽带吸收器包括衬底以及自下而上依次覆盖于所述衬底上方的金属底层、中部介质层、金属微结构层以及顶部介质层，所述金属微结构层由多个金属微结构周期性阵列排布构成，结合金属底层和中部介质层，形成金属

【技术实现步骤摘要】
一种超材料近红外宽带吸收器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及红外吸收器
，特别是涉及一种超材料近红外宽带吸收器及其制备方法。

技术介绍

[0002]超材料是一种人工设计制造的具有周期性结构的复合材料，超材料吸收器是超材料领域的一个重要研究分支，在传感器、滤波器、红外隐身、光电探测、太阳能光伏等领域有着重要的应用。2008年，Landy等人首次在(《Physical Review Letters》，第100卷，第207402页)提出了一种由金属裂环谐振器和金属线组成的单频完美吸收器，在该结构中，通过谐振环和底层金属层产生的电磁共振与入射电磁波的耦合，在11.5GHz附近实现了99％的完美吸收。在此之后，根据Landy的设计理念，Tao等人(《Physical Review B》，第78卷,第241103页)通过改变单元结构形状和优化结构参数，再次在1.6THz处实现了吸收率为99.9％的近完美吸收。但是由于微纳加工技术的限制，吸收器的波段都停留在微波和太赫兹波段。2010年，Cui等人设计实现了一种近红外波段窄带吸收器(《NANO L本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超材料近红外宽带吸收器，其特征在于：包括衬底以及自下而上依次覆盖于所述衬底上方的金属底层、中部介质层、金属微结构层以及顶部介质层，所述金属微结构层由多个金属微结构周期性阵列排布构成。2.根据权利要求1所述的超材料近红外宽带吸收器，其特征在于：所述衬底的材料选自硅或石英；所述中部介质层以及所述顶部介质层的材料均选自二氧化硅、氟化镁、二氧化钛中的一种或多种复合。3.根据权利要求1所述的超材料近红外宽带吸收器，其特征在于：所述金属底层的材料选自铬、银、铝、金、铜、铁中的一种或多种复合；所述金属微结构层的材料选自铬、钛、钨中的一种或多种复合。4.根据权利要求1所述的超材料近红外宽带吸收器，其特征在于：所述金属底层的厚度不小于100nm；所述中部介质层的厚度范围为100～200nm；所述顶部介质层的厚度范围为100～300nm。5.根据权利要求1所述的超材料近红外宽带吸收器，其特征在于：所述金属微结构包括若干呈阵列排布的金属微结构组，每一所述金属微结构组包括1个中心微结构以及4个对称设置于所述中心微结构边缘外的子微结构，所述中心微结构的中心与所述子微结构的中心的间距范围为300～500nm。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋云飞，陈溢杭，董剑楠，许海霞，
申请(专利权)人：华南师范大学，
类型：发明
国别省市：