载台系统及曝光装置,以及元件制造方法制造方法及图纸

以相对平台（３０）振动上独立设置的固定件（７４），与连接于载台ＲＳＴ的可动件（７２），来沿平台上的导引面（９２ｃ、９２ｄ）驱动载台。又，平台的例如上下方向的驱动量超过既定值时，即通过连接装置（３３）解除载台与可动件的连接。亦即，由于连接于平台上的载台的可动件与固定件接触而在两者间产生大的负载前，解除载台与可动件的连接，故能避免因可动件与固定件的接触所造成的损伤。此外，由于固定件是以振动上独立的方式设置于平台，因此能高精度的进行载台的位置控制。因此，能长期、安定的驱动载台。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
,以及元件制造方法
本专利技术，是关于、以及元件制造方法，详言之，是关于具有沿平台的移动面移动的载台本体、连接于该载台本体的可动件与相对平台振动上独立设置的固定件的载台系统，及具备该载台系统以作为光罩及基板中至少一方的驱动装置的曝光装置，以及使用该曝光装置进行曝光的元件制造方法。
技术介绍
一直以来，制造半导体元件、液晶显示元件等的微影工艺，主要是使用将光罩或标线片(以下，通称为标线片)上形成的图案通过投影光学系统转印至涂布有光阻等的晶圆或玻璃板等基板(以下，通称为基板)上的步进重复方式的缩小投影曝光装置(所谓的步进器)、或将此步进器加以改良的步进扫描方式的扫描型投影曝光装置(所谓的扫描步进器)等的逐次移动型投影曝光装置。例如，若为扫描步进器时，作为标线片载台(用以保持标线片)的移动基准的标线片载台平台，由于是决定以投影光学系统来成像出标线片上图案的像面的重要部分，因此最好是在标线片载台驱动时亦能尽可能的抑制振动。又，投影曝光装置中，用以保持晶圆并移动的晶圆载台，为了将晶圆表面对准于标线片上图案将成像的像面，多是在XY驱动用的XY载台上，设置至少能进行Z倾斜驱动的晶圆台，于此晶圆台上保持晶圆。此时，若晶圆载台平台产生了既定量以上的振动的话，即无法进行充分的振动衰减，而会使晶圆台的z轴方向位置控制精度恶化。因此，例如在使用线性马达来驱动标线片载台或晶圆载台时，为了不使以线性马达进行的载台驱动所产生的反作用力传至载台平台，将线性马达的固定件(载台驱动时的反作用力作用处)与载台平台分离，或为保存该反作用力作用时的动量而采用固定件会移动的所谓反向对应机构，来防止载台驱动时的反作用力使载台平台振动。又，为了防止来自地面的振动使载台平台振动，最好是能在载台平台与地面间设置减震器，以实施对载台平台的防振。专利技术欲解决的课题标线片载台及晶圆载台，作为至少于长行程方向(通常为水平面内的一方向)的驱动机构，皆多使用线性马达。此线性马达，于正交于水平面的方向(高度方向)，能容许可动件与固定构件间的相对变位较小，例如±0.5mm程度的范围为用以获得有效推力的限度。另一方面，作为前述减震器，为获得充分的振动衰减效果，多采用AVIS(通过气压减震器等能承受大重量的机械式减震器与音圈马达等电磁致动器的组合，来进行振动衰减的防振装置)。亦即，以AVIS积极驱动载台平台，防止来自地面的振动导致载台平台的振动。然而，此AVIS，自其中立位置到机械性的限制其驱动的抑止机构所设位置的容许可动行程，为±3mm左右。因此，在AVIS产生暴走而无法控制时，由于以AVIS进行的载台平台的驱动行程会超过前述线性马达的容许范围，其结果，有可能造成线性马达的固定件与可动件相互接触，使线性马达损伤。作为避免发生前述事态的方法，例如亦可考虑将线性马达固定件的导引部与可动件的导引部分别与载台平台上的导引面分开设置，但以此方式设置时，由于原来各载台的导引面在载台平台上，因此欲维持载台导引面与线性马达固定件及可动件导引部的适当的位置关系是非常困难，其结果，即有可能造成线性马达固定件的导引部与可动件的导引部的损伤。因此，公知的技术，需频繁的进行线性马达或其导引部的维修保养。此点，不仅增加曝光装置停机时间的主要因素，其结果，亦成为最终制品的元件生产性降低的主要因素。
技术实现思路
本专利技术有鉴于上述情事，其第1目的，是提供一能长期安定的驱动载台本体的载台系统。又，本专利技术的第2目的，是提供一能谋求运转效率的提升的曝光装置。又，本专利技术的第3目的，是提供一能提升元件生产性的元件制造方法。根据本专利技术第1观点的载台系统，具有沿平台的移动面移动的载台本体，连接于前述载台本体的可动件，及以振动上独立的方式设于前述平台的固定件通过前述可动件与前述的固定件来驱动前述载台本体，其特征在于，具备驱动装置，以驱动前述平台；以及解除装置，以在通过前述驱动装置驱动前述平台的驱动量超过既定值时，解除前述载台本体与前述可动件的连接。根据上述构成，是通过以振动上独立的方式设于平台的固定件，及连接于载台本体的可动件，沿平台的移动面驱动载台本体，在通过驱动装置驱动平台的驱动量超过既定值时，以解除装置来解除载台本体与可动件的连接。亦即，在通过驱动装置驱动平台的驱动量超过既定值时，连接于载台本体的可动件与固定件彼此接触而在两者之间产生大负载之前，以解除装置来解除载台本体与可动件的连接，其结果，即能避免可动件与固定件的接触所造成的损伤。又，由于固定件是以振动上独立的方式设于平台，因此驱动载台本体时于固定件产生的反作用力不致使平台振动，而能高精度的进行沿平台移动面移动的载台本体的位置控制。因此，根据本专利技术的载台系统，能长期安定的驱动载台本体。此情形下，通过驱动装置进行的平台的驱动方向，并无特别限定，例如，前述驱动装置，亦可沿与前述移动面大致正交的方向驱动前述平台。本专利技术的各载台系统中，关于前述载台本体与前述可动件的连接方法、以及解除装置的构成等，可有各种形态。例如，前述载台本体与前述可动件为磁性连接，前述解除装置为解除前述磁性连接，或者，前述载台本体与前述可动件是以真空吸附力连接，前述解除装置为解除前述真空吸附力者。本专利技术的各载台系统，亦可具备以振动上独立的方式设于前述平台的支撑台，而将前述固定件连接于前述支撑台。又，亦可具备以振动上独立的方式设于前述平台的支撑台，而将前述固定件移动可能的支撑于前述支撑台。在此场合，可移动地支撑于前述支撑台的前述固定件，是利用前述载台本体驱动时产生的反作用力，朝与前述载台本体之驱动方向相反的方向移动。本专利技术的载台系统，当固定件可在对于平台以振动上独立之方式设置的支撑台上被可移动地支持着之场合，而可在之载台系统，进一步具备位置补正机，以补正伴随前述载台本体移动之前述固定件的位置变化。前述固定件与可动件的驱动力的作用点与前述载台本体的重心及前述固定件的重心一致，而前述解除装置，在以前述驱动装置进行的前述平台的驱动，使前述平台的移动面与前述支撑台中前述固定件的移动面之间的相对位置变位超过既定值时，即回应于此而解除前述载台本体与前述可动件的连接，本专利技术之载台系统，其中，前述载台本体与前述可动件以吸附力连接。前述解除装置系包含开·关机构，当前述可动件和固定件接触时，利用前述驱动装置造成之前述平台之驱动，检测到此一接触，并解除前述真空吸附力而停止吸附力之产生。本专利技术的各载台系统，亦可进一步具备连接前述载台本体与前述可动件的弹性构件，此弹性构件，在以前述解除装置解除了前述连接状态下，具有不致产生机械破损程度的刚性。根据本专利技术之第2观点的曝光装置，用以将光罩上形成的图案转印至基板上，其特征在于具备用以驱动前述光罩的第1驱动系统，与用以驱动前述基板的第2驱动系统；作为前述第1驱动系统及第2驱动系统的至少一方，是使用本专利技术的载台系统。根据此构成，使用能长期、安定的驱动载台本体的本专利技术的载台系统，来作为用以驱动光罩的第1驱动系统与用以驱动基板的第2驱动系统至少一方。因此，能长期、安定的驱动光罩及基板的至少一方，能良好的维持光罩与基板的重叠精度。此外，载台系统中，由于驱动载台本体的驱动动装置的固定件与可动件的接触而造成损伤的可能性低，因此不需为此进行保养维修。从而能谋求装置停机时间的降低，其结果，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种载台系统，具有沿平台的移动面移动的载台本体，连接于前述载台本体的可动件，及以振动上独立的方式设于前述平台的固定件，通过前述可动件与前述固定件来驱动前述载台本体，其特征在于，具备：驱动装置，以驱动前述平台；以及解除装置，以在通过前 述驱动装置驱动前述平台的驱动量超过既定值时，解除前述载台本体与前述可动件的连接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西健尔，
申请(专利权)人：尼康株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]