【技术实现步骤摘要】
,以及元件制造方法
本专利技术，是关于、以及元件制造方法，详言之，是关于具有沿平台的移动面移动的载台本体、连接于该载台本体的可动件与相对平台振动上独立设置的固定件的载台系统，及具备该载台系统以作为光罩及基板中至少一方的驱动装置的曝光装置，以及使用该曝光装置进行曝光的元件制造方法。
技术介绍
一直以来，制造半导体元件、液晶显示元件等的微影工艺，主要是使用将光罩或标线片(以下，通称为标线片)上形成的图案通过投影光学系统转印至涂布有光阻等的晶圆或玻璃板等基板(以下，通称为基板)上的步进重复方式的缩小投影曝光装置(所谓的步进器)、或将此步进器加以改良的步进扫描方式的扫描型投影曝光装置(所谓的扫描步进器)等的逐次移动型投影曝光装置。例如，若为扫描步进器时，作为标线片载台(用以保持标线片)的移动基准的标线片载台平台，由于是决定以投影光学系统来成像出标线片上图案的像面的重要部分，因此最好是在标线片载台驱动时亦能尽可能的抑制振动。又，投影曝光装置中，用以保持晶圆并移动的晶圆载台，为了将晶圆表面对准于标线片上图案将成像的像面，多是在XY驱动用的XY载台上，设置至少能进行Z倾斜驱动...
【技术保护点】
一种载台系统，具有沿平台的移动面移动的载台本体，连接于前述载台本体的可动件，及以振动上独立的方式设于前述平台的固定件，通过前述可动件与前述固定件来驱动前述载台本体，其特征在于，具备：驱动装置，以驱动前述平台；以及解除装置，以在通过前 述驱动装置驱动前述平台的驱动量超过既定值时，解除前述载台本体与前述可动件的连接。
【技术特征摘要】
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