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以相对平台（３０）振动上独立设置的固定件（７４），与连接于载台ＲＳＴ的可动件（７２），来沿平台上的导引面（９２ｃ、９２ｄ）驱动载台。又，平台的例如上下方向的驱动量超过既定值时，即通过连接装置（３３）解除载台与可动件的连接。亦即，由于连接于平...
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