一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备制造技术

技术编号:33621839 阅读:31 留言:0更新日期:2022-06-02 00:46
本发明专利技术公开了一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,包括加工箱,所述加工箱中固定连接有分层板,所述加工箱位于分层板上层空间设置为加工腔,所述加工腔中设置有蒸镀箱,所述蒸镀箱连接有运输加工结构,所述加工箱位于分层板下层空间设置为加热腔,所述加热腔中固定设置有加热箱,所述加热箱中装有蒸镀原料,所述加热箱的外侧壁设由内至外分别设置有加热层和隔热层,所述加热箱的顶部连通设置有出料管,所述出料管密封贯穿分层板并且密封连接有单向阀,所述加热腔位于加热箱外的部分设置有进料结构。优点在于:更好的起到节能的效果,避免热量流失。避免热量流失。避免热量流失。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备


[0001]本专利技术涉及电容器加工
,尤其涉及一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备。

技术介绍

[0002]真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。
[0003]经检索,中国授权专利公开号为CN110205601B公开了一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,旨在解决传统的蒸镀装置在对薄膜进行蒸镀时,蒸发源的受热不均,会导致蒸镀的厚度不一致、层次不均匀,且蒸镀效率较慢,影响薄膜电容器生产效率的问题,包括外箱、外箱下端安装的多个支撑脚和外箱前壁上安装的箱门,经过分析,该现有技术虽然解决了部分蒸镀效率较慢,影线薄膜电容器生产效率的问题,但是现在实际使用时,分别通过冷却组件和蒸镀组件进行使用时,在使得蒸镀后薄膜快速成型的同时,冷却水将热量散失,使得大部分蒸镀的热量将产生流失,一方面需要大剂量的冷却水满足冷却循环,另一方面需要耗费更多的电量进行发热,造成能量的浪费,基于此,本专利技术设计一种薄膜电容器加工用金属本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,包括加工箱(1)和操作台(2),其特征在于,所述加工箱(1)中固定连接有分层板(3),所述加工箱(1)位于分层板(3)上层空间设置为加工腔(41),所述加工腔(41)中设置有蒸镀箱(12),所述蒸镀箱(12)连接有运输加工结构,所述加工箱(1)位于分层板(3)下层空间设置为加热腔(42),所述加热腔(42)中固定设置有加热箱(5),所述加热箱(5)中装有蒸镀原料,所述加热箱(5)的外侧壁设由内至外分别设置有加热层(6)和隔热层(7),所述加热箱(5)的顶部连通设置有出料管(8),所述出料管(8)密封贯穿分层板(3)并且密封连接有单向阀,所述加热腔(42)位于加热箱(5)外的部分设置有进料结构。2.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于,所述运输加工结构包括设置在分层板(3)中的传送带(9),所述传送带(9)的两端分别配合连接有传送轮(10),一侧的所述传送轮(10)的回转中心与驱动电机固定连接,所述蒸镀箱(12)的两侧分别设置有一个转动门(13),每个所述转动门(13)电连接有电控组件和控制系统,所述控制系统控制转动门(13)转动从而开启或关闭,所述传送带(9)等距离设置有多个导体挡块(14),每个所述导体挡块(14)均与转动门(13)和电控组件电连接。3.根据权利要求2所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于,所述进料结构包括设置在加热箱(5)内侧壁的套筒(15),所述套筒(15)中滑动连接有连接轴(16),所述连接轴(16)密封贯穿加热箱(5)的侧壁,所述连接轴(16)靠近加热箱(5)外的一侧设置有隔热块(17),所述隔热块(17)与隔热层(7)配合并均采用气凝胶材料,所述连接轴(16)通过导线与驱动电机电连接,所述加热腔(42)中装有比热容较高的缓冲液体,所述连接轴(16)位于加热箱(5)内的一端...

【专利技术属性】
技术研发人员:于海洋
申请(专利权)人:南通三喜电子有限公司
类型:发明
国别省市:

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