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一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备制造技术
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文档序号:33621839
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本发明公开了一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,包括加工箱,所述加工箱中固定连接有分层板,所述加工箱位于分层板上层空间设置为加工腔,所述加工腔中设置有蒸镀箱,所述蒸镀箱连接有运输加工结构,所述加工箱位于分层板下层空间设置为加热腔,所述加热...
该专利属于南通三喜电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通三喜电子有限公司授权不得商用。
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