一种快速启动短弧水银灯制造技术

本实用新型专利技术涉及水银灯技术领域，提供一种快速启动短弧水银灯，包括灯体以及设置在灯体内的电极；所述电极包括相对设置的阳极和阴极，灯体内封有水银和氙气；灯体两端分别具有密封部；所述阳极和阴极分别连接电极支撑棒；所述电极支撑棒上套设中间支承部；所述电极支撑棒底端设置电极支承棒保持部；所述中间支承部和电极支承棒保持部之间连接有前金属板；所述电极支承棒保持部的后端设置后金属板，所述电极支承棒保持部的外周设置多个金属箔；所述金属箔与后金属板电连接；所述后金属板上设置用于连接外部电力的后方外部棒；所述阴极的电极支撑棒上套设蒸发促进部。本实用新型专利技术快速启动短弧水银灯具有良好的起动特性，缩短水银灯的启动时间。的启动时间。的启动时间。

【技术实现步骤摘要】
一种快速启动短弧水银灯


[0001]本技术涉及水银灯
，尤其涉及一种快速启动短弧水银灯。

技术介绍

[0002]作为半导体和液晶的制造过程，其中有利用曝光技术的曝光工序。对于曝光装置上安装的主要光源，作为发光物质的水银被封入在短弧水银灯中使用。
[0003]目前为了加快从点灯开始到水银蒸发直至稳定的时间，即缩短所谓的起动时间，采取了各种对策。普遍采用的方式是通过尽可能延长从阳极前端到固定在阳极支撑棒上的金属板的距离，以及从阴极前端部到固定在阴极支撑棒上的金属板的距离之和。
[0004]但是，在垂直方向点亮的短弧水银灯中，在将从下侧的电极前端到固定在电极支撑棒上的金属板的距离设定得长的情况下，起动变慢，灯变大的话，这情况更加明显。考虑其原因是由于下侧灯内根部空间附近的支承棒的温度过低，所以在点亮开始时无法有效地提高该空间部积存的水银的温度造成的。

技术实现思路

[0005]本技术主要解决现有技术的短弧水银灯起动变慢的技术问题，提出一种快速启动短弧水银灯，以使水银短电弧灯具有良好的起动特性，缩短水银短电弧灯的启动时间。
[0006]本技术提供了一种快速启动短弧水银灯，包括灯体以及设置在灯体内的电极；所述电极包括相对设置的阳极和阴极，所述灯体内封有水银和氙气；
[0007]所述灯体两端分别具有密封部；
[0008]所述阳极和阴极分别连接电极支撑棒；
[0009]所述电极支撑棒上套设中间支承部；所述电极支撑棒底端设置电极支承棒保持部；所述中间支承部和电极支承棒保持部之间连接有前金属板；
[0010]所述电极支承棒保持部的后端设置后金属板，所述电极支承棒保持部的外周设置多个金属箔；所述金属箔与后金属板电连接；所述后金属板上设置用于连接外部电力的后方外部棒；
[0011]所述阴极的电极支撑棒上套设蒸发促进部；所述蒸发促进部位于阴极和阴极的中间支承部之间，并靠近阴极根部。
[0012]优选的，所述蒸发促进部采用多个依次间隔设置的圆盘部件。
[0013]优选的，所述圆盘部件采用钼箔制成；所述圆盘部件的数量为10片，各圆盘部件的间距为1mm；
[0014]所述圆盘部件的外径为20
㎜
、内径为8mm，厚度设为1mm。
[0015]优选的，所述蒸发促进部采用线圈部件。
[0016]优选的，所述线圈部件的长度为20mm，外径为11.2mm，内径为8mm。
[0017]优选的，所述电极支撑棒的直径为8mm。
[0018]优选的，所述阳极和阴极之间的距离为10mm。
[0019]优选的，所述灯体内水银量为50mg/cc，气体压强为700Torr。
[0020]优选的，所述中间支承部采用串珠。
[0021]优选的，所述密封部的外端设置金属帽；
[0022]所述后方外部棒连接在金属帽上。
[0023]本技术提供的一种快速启动短弧水银灯，设置蒸发促进部，蒸发促进部可以采用线圈部件或者多个依次间隔设置的圆盘部件，蒸发促进部设置在阴极下侧的根部空隙部附近，点灯开始时上述空隙部附近滞留的水银与通电流发热的促进蒸发部件的接触表面增加，因此，电极支撑棒的热传导使水银快速蒸发，达到缩短灯管达到稳定状态时间的效果，起动时间得到了改善。
附图说明
[0024]图1是本技术提供的快速启动短弧水银灯的结构示意图；
[0025]图2是本技术实施例一提供的阴极部分的结构示意图；
[0026]图3是本技术实施例二提供的阴极部分的结构示意图。
[0027]附图标记：1、快速启动短弧水银灯；2、灯体；3、阳极；4、阴极；5、中间支承部；6、电极支撑棒；7、电极支承棒保持部；8、金属箔；9、前金属板；10、后金属板；11、后方外部棒；12、蒸发促进部；18、金属帽；2a、密封部。
具体实施方式
[0028]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部内容。
[0029]实施例一
[0030]如图1所示，本技术实施例提供的快速启动短弧水银灯1，包括灯体2以及设置在灯体2内的电极；所述电极包括相对设置的阳极3和阴极4，所述灯体2内封有水银和氙气。
[0031]所述灯体2两端分别具有密封部2a。
[0032]所述阳极3和阴极4分别连接电极支撑棒6。
[0033]所述电极支撑棒6上套设中间支承部5；具体的，所述中间支承部5采用串珠。所述电极支撑棒6底端设置电极支承棒保持部7，电极支承棒保持部7可采用玻璃制成；所述中间支承部5和电极支承棒保持部7之间连接有前金属板9；前金属板9带通孔，可以使电极支撑棒6插入。
[0034]所述电极支承棒保持部7的后端设置后金属板10，所述电极支承棒保持部7的外周设置多个金属箔8；所述金属箔8与后金属板10电连接；所述后金属板10上设置用于连接外部电力的后方外部棒11。金属箔8作为通电到阴极4的导电部件，具体可设置5片。进一步的，所述密封部2a的外端设置金属帽18；所述后方外部棒11连接在金属帽18上。
[0035]所述阴极4的电极支撑棒6上套设蒸发促进部12；所述蒸发促进部12位于阴极4和阴极4的中间支承部5之间，并靠近阴极4根部。蒸发促进部12中心具有能够使电极支撑棒6插入的通孔。蒸发促进部12焊接在电极支撑棒6上，或者通过压入等方法安装在电极支撑棒
6上。
[0036]如图2所示，在本实施例中，所述蒸发促进部12采用多个依次间隔设置的圆盘部件。所述圆盘部件采用钼箔制成；所述圆盘部件的数量为10片，各圆盘部件的间距为1mm；所述圆盘部件的外径为20
㎜
、内径为8mm，厚度设为1mm。本实施例将圆盘部件置在电极支撑棒6外周，能够使水银快速蒸发，实现加快起动时间的短弧水银灯。但是，蒸发促进部12并不限于圆盘部件，也可以将圆盘部件制作成片状，与电极支撑棒6连接。
[0037]另外，本实施例的快速启动短弧水银灯1是钼箔细路型的电弧灯，额定功率13.5kW。所述电极支撑棒6的直径为8mm。所述阳极3和阴极4之间的距离为10mm。所述灯体2内水银量为50mg/cc，气体压强为700Torr。
[0038]本实施例的快速启动短弧水银灯，电极支撑棒6、前金属板9、金属箔8、后金属板10、后方外部棒11和金属帽18依次连接，后方外部棒11和金属帽18与电力连接，能够使设置在电极支撑棒6的前端的阴极4通电。
[0039]本实施例的快速启动短弧水银灯，设置蒸发促进部12，通过电极支撑棒6以及蒸发促进部12的热传导手段，能够使阴极4下方积存的水银通过蒸发促进部12促进蒸发，到灯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快速启动短弧水银灯，包括灯体(2)以及设置在灯体(2)内的电极；所述电极包括相对设置的阳极(3)和阴极(4)，所述灯体(2)内封有水银和氙气；其特征在于：所述灯体(2)两端分别具有密封部(2a)；所述阳极(3)和阴极(4)分别连接电极支撑棒(6)；所述电极支撑棒(6)上套设中间支承部(5)；所述电极支撑棒(6)底端设置电极支承棒保持部(7)；所述中间支承部(5)和电极支承棒保持部(7)之间连接有前金属板(9)；所述电极支承棒保持部(7)的后端设置后金属板(10)，所述电极支承棒保持部(7)的外周设置多个金属箔(8)；所述金属箔(8)与后金属板(10)电连接；所述后金属板(10)上设置用于连接外部电力的后方外部棒(11)；所述阴极(4)的电极支撑棒(6)上套设蒸发促进部(12)；所述蒸发促进部(12)位于阴极(4)和阴极(4)的中间支承部(5)之间，并靠近阴极(4)根部。2.根据权利要求1所述的快速启动短弧水银灯，其特征在于，所述蒸发促进部(12)采用多个依次间隔设置的圆盘部件。3.根据权利要求2所述的快速启动短弧水银灯，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱海光，滨根正树，
申请(专利权)人：大连优美芯光电光源有限公司，
类型：新型
国别省市：