本实用新型专利技术属于离子枪技术领域，具体公开了一种新型离子枪水冷装置，包括真空室、冷却水箱、温度探头、温控器、循环水泵、过滤器、热交换器和制冷机，所述真空室内设置有离子枪冷却座，所述离子枪上设置有离子枪本体，所述离子枪冷却座的冷却水出口通过循环管连接有循过滤器进水口，所述过滤器出水口通过循环管连接有循环水泵进水口，所述循环水泵出水口通过循环管连接有热交换器的进水口，所述热交换器的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座形成一个循环回路置，本实用新型专利技术本实用新型专利技术实现双冷却循环，既保证离子枪工作时产生热量及时通过冷却回路热交换器与设备外接低温冷却水进行热量交换从而保证离子枪连续工作。热量交换从而保证离子枪连续工作。热量交换从而保证离子枪连续工作。
【技术实现步骤摘要】
一种新型离子枪水冷装置
[0001]本技术涉及离子枪
，具体为一种新型离子枪水冷装置。
技术介绍
[0002]离子枪在工作过程中会产生大量的热，同时离子枪工作时处于高真空下，真空下不容易散热，如不能及时散热，会因为过热产生不了高速离子流而导致设备停止工作，温度过高也会导致融化掉离子枪绝缘机构，真空室内负压会将油水等吸到真空室内。
[0003]现有离子枪工作时散热技术：主要由其安装座上的半导体散热装置散热，由于整个机构处于真空室中，热传导效率低，离子枪长时间连续工作会由于散热慢导致离子枪温度升高而停止工作，影响工作效率，严重时造成设备运行故障。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种新型离子枪水冷装置以解决上述
技术介绍
中所提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型离子枪水冷装置，包括真空室、冷却水箱、温度探头、温控器、循环水泵、过滤器、热交换器和制冷机，所述真空室内设置有离子枪冷却座，所述离子枪上设置有离子枪本体，所述离子枪冷却座的冷却水出口通过循环管连接有循过滤器进水口，所述过滤器出水口通过循环管连接有循环水泵进水口，所述循环水泵出水口通过循环管连接有热交换器的进水口，所述热交换器的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座形成一个循环回路。
[0006]优选的，所述靠近离子枪冷却座冷却水出口设置的循环管上设置有流量传感器。
[0007]优选的，所述离子枪冷却座的冷却水出口设置的循环管通过循环支管连接有冷却水箱。
[0008]优选的，所述热交换器的热气出口连接有制冷机的热气进口，所述制冷机的冷气出口连接有热交换器的冷气进口。
[0009]优选的，所述冷却水箱内设置有温度探头，所述温度探头连接有温控器，所述温度探头与温控器之间采用电性连接，所述温控器连接有电机调速模组，所述温控器与电机调速模组之间采用电性连接，所述电机调速模组连接有循环水泵，所述电机调速模组与循环水泵之间采用控制连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：离子枪冷却座内部设计有冷却液循环管，工作时回路中的冷却液从离子枪底座带走离子枪工作时产生的热量，并使离子枪一直处于最佳工作温度，同时管路装有流量传感器，实时对冷却液流量进行检测，如果发生阻塞及时报警，本技术实现双冷却循环，既保证离子枪工作时产生热量及时通过冷却回路热交换器与设备外接低温冷却水进行热量交换从而保证离子枪连续工作，又保证真空腔体不会因冷却液体泄漏污染内部工作环境。
附图说明
[0011]图1为本技术冷却水循环结构示意图。
[0012]图中：1、真空室；2、离子枪冷却座；3、离子枪本体；4、流量传感器；5、冷却水箱；6、温度探头；7、温控器；8、电机调速模组；9、循环水泵；10、热交换器；11、制冷机；12、过滤器。
具体实施方式
[0013]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0014]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0015]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0016]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种新型离子枪水冷装置，包括真空室1、冷却水箱5、温度探头6、温控器7、循环水泵9、过滤器12、热交换器10和制冷机11，所述真空室1内设置有离子枪冷却座2，所述离子枪冷却座2上设置有离子枪本体3，所述离子枪冷却座2的冷却水出口通过循环管连接有过滤器12进水口，所述过滤器12出水口通过循环管连接有循环水泵9进水口，所述循环水泵9出水口通过循环管连接有热交换器10的进水口，所述热交换器10的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座2形成一个循环回路，通过冷却水抽入所述离子枪冷却座2，带走离子枪本体3工作时产生的热量对离子枪本体3进行冷却，热交换器10可对冷却水进行冷却。
[0017]进一步的，所述靠近离子枪冷却座2冷却水出口设置的循环管上设置有流量传感器4，所述流量传感器4实时对冷却水流量进行检测，如果发生阻塞及时报警。
[0018]进一步的，所述离子枪冷却座2的冷却水出口设置的循环管通过循环支管连接有冷却水箱5，将所述冷却水箱5内的冷却水抽入离子枪冷却座2内进行热交换，并且在循环过程中对加热后的冷却水进行一次热交换。
[0019]进一步的，所述热交换器10的热气出口连接有制冷机11的热气进口，所述制冷机11的冷气出口连接有热交换器10的冷气进口，通过所述热交换器10吸收加热后冷却水的热量，所述热交换器10在进行热交换过程中排出的热气被制冷机11吸收，所述制冷机11再将冷气输送至热交换器10，所述热交换器10再将利用冷气将带有热量的冷却水进行冷却完成二次热交换。
[0020]进一步的，所述冷却水箱5内设置有温度探头6，所述温度探头6连接有温控器7，所述温度探头6与温控器7之间采用电性连接，所述温控器7连接有电机调速模组8，所述温控
器7与电机调速模组8之间采用电性连接，所述电机调速模组8连接有循环水泵9，所述电机调速模组8与循环水泵9之间采用控制连接，所述温度探头6检测冷却水箱5内的水温，所述温控器7接收温度探头6检测到的温度，所述温控器7再将检测到的温度反馈给电机调速模块，所述电机调速模组8根据反馈结果调节循环泵的转速控制冷却水流量。
[0021]工作原理：使用前先将冷却水箱5注满冷却水，然后再将温控器7设置到离子最佳工作温度，然后启动循环电机，使得循环电机将冷却水抽入离子枪冷却座2内带走离子枪工作时产生的热量，循环过程中流量传感器4实时对冷却水流量进行检测，如果发生堵塞及时报警，带有热量的冷却水经过冷却水箱5设置的循环支管时，冷却水箱5内的冷却水进入循环管内对带有热量的冷却水进行一次热交换，由于冷却水是循环使用，所以冷却水中很有可能会因此滋生菌类，所以过滤器12在冷却水经过时被进行过滤，保持冷却水的质量，然后循环水泵9再将热水抽入热交换器10，热交换器10吸收热量，热交换器10在进行热交换过程中排出的热气被制冷机11吸收，这时制冷机11再将冷气输本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型离子枪水冷装置，其特征在于：包括真空室（1）、冷却水箱（5）、温度探头（6）、温控器（7）、循环水泵（9）、过滤器（12）、热交换器（10）和制冷机（11），所述真空室（1）内设置有离子枪冷却座（2），所述离子枪冷却座（2）上设置有离子枪本体（3），所述离子枪冷却座（2）的冷却水出口通过循环管连接有过滤器（12）进水口，所述过滤器（12）出水口通过循环管连接有循环水泵（9）进水口，所述循环水泵（9）出水口通过循环管连接有热交换器（10）的进水口，所述热交换器（10）的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座（2）形成一个循环回路。2.根据权利要求1所述的一种新型离子枪水冷装置，其特征在于：靠近所述离子枪冷却座（2）冷却水出口设置的循环管上设置有流量传感器（4）。3.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖占武，
申请(专利权)人：北京精恒工控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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