一种新型离子枪水冷装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于离子枪技术领域，具体公开了一种新型离子枪水冷装置，包括真空室、冷却水箱、温度探头、温控器、循环水泵、过滤器、热交换器和制冷机，所述真空室内设置有离子枪冷却座，所述离子枪上设置有离子枪本体，所述离子枪冷却座的冷却水出口通过循环管连接有循过滤器进水口，所述过滤器出水口通过循环管连接有循环水泵进水口，所述循环水泵出水口通过循环管连接有热交换器的进水口，所述热交换器的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座形成一个循环回路置，本实用新型专利技术本实用新型专利技术实现双冷却循环，既保证离子枪工作时产生热量及时通过冷却回路热交换器与设备外接低温冷却水进行热量交换从而保证离子枪连续工作。热量交换从而保证离子枪连续工作。热量交换从而保证离子枪连续工作。

【技术实现步骤摘要】
一种新型离子枪水冷装置


[0001]本技术涉及离子枪
，具体为一种新型离子枪水冷装置。

技术介绍

[0002]离子枪在工作过程中会产生大量的热，同时离子枪工作时处于高真空下，真空下不容易散热，如不能及时散热，会因为过热产生不了高速离子流而导致设备停止工作，温度过高也会导致融化掉离子枪绝缘机构，真空室内负压会将油水等吸到真空室内。
[0003]现有离子枪工作时散热技术：主要由其安装座上的半导体散热装置散热，由于整个机构处于真空室中，热传导效率低，离子枪长时间连续工作会由于散热慢导致离子枪温度升高而停止工作，影响工作效率，严重时造成设备运行故障。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种新型离子枪水冷装置以解决上述
技术介绍
中所提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型离子枪水冷装置，包括真空室、冷却水箱、温度探头、温控器、循环水泵、过滤器、热交换器和制冷机，所述真空室内设置有离子枪冷却座，所述离子枪上设置有离子枪本体，所述离子枪冷却座的冷却水出口通过循环管连接有循过滤器进水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型离子枪水冷装置，其特征在于：包括真空室（1）、冷却水箱（5）、温度探头（6）、温控器（7）、循环水泵（9）、过滤器（12）、热交换器（10）和制冷机（11），所述真空室（1）内设置有离子枪冷却座（2），所述离子枪冷却座（2）上设置有离子枪本体（3），所述离子枪冷却座（2）的冷却水出口通过循环管连接有过滤器（12）进水口，所述过滤器（12）出水口通过循环管连接有循环水泵（9）进水口，所述循环水泵（9）出水口通过循环管连接有热交换器（10）的进水口，所述热交换器（10）的出水口通过循环管连接有离子枪冷却座（2）形成一个循环回路。2.根据权利要求1所述的一种新型离子枪水冷装置，其特征在于：靠近所述离子枪冷却座（2）冷却水出口设置的循环管上设置有流量传感器（4）。3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖占武，
申请(专利权)人：北京精恒工控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：