下载一种新型离子枪水冷装置的技术资料

文档序号:33593860

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本实用新型属于离子枪技术领域,具体公开了一种新型离子枪水冷装置,包括真空室、冷却水箱、温度探头、温控器、循环水泵、过滤器、热交换器和制冷机,所述真空室内设置有离子枪冷却座,所述离子枪上设置有离子枪本体,所述离子枪冷却座的冷却水出口通过循环管...
该专利属于北京精恒工控科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京精恒工控科技有限公司授权不得商用。

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