【技术实现步骤摘要】
一种清洗干燥设备
[0001]本技术涉及清洗干燥
，尤其涉及一种清洗干燥设备。
技术介绍
[0002]图形化蓝宝石衬底的生产是LED产业中的一个重要生产环节，它是将蓝宝石平片放置在夹具上进行等离子体刻蚀而成，等离子体刻蚀过程是蚀刻气体中的等离子体与蓝宝石及其表面的聚合物掩膜发生物化的反应，在刻蚀过程中会产生很多副产物沉积在夹具上，因此在等离子体刻蚀工艺完成后需要对夹具进行清洗以确保夹具的清洁。
[0003]现有技术中，夹具的清洗和干燥工序是分开进行的，先将夹具放置到超声波清洗机中进行清洗，然后再将夹具转移到烤箱中进行烘烤干燥，清洗干燥工艺的操作较为繁杂。另一方面，烤箱的烘烤温度较高，一般烘烤温度设置在90℃以上，将干燥后的夹具从烤箱中取出时非常容易烫伤操作人员；并且，从烤箱中取出的夹具需要完全自然冷却后才能再次使用，等待夹具自然冷却的时间较长，若将蓝宝石平片放置在冷却不彻底的夹具上，则在夹具冷却收缩的过程中会破坏其与蓝宝石平片接触的平面上的掩膜体，经等离子体刻蚀后会出现图形化蓝宝石衬底相应位置微观结构异常的问题，最终形成不良品。
[0004]因此，亟需提出一种清洗干燥设备，以解决夹具清洗干燥效率低下的问题，以及由高温烘烤干燥所引发的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种清洗干燥设备，将夹具的清洗和干燥集为一体，并且能够采用风冷式干燥的方法对夹具进行干燥。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种清洗干燥设备，包括：>[0008]外壳，外壳上开设有排水口；
[0009]超声波发生器，超声波发生器安装于外壳的外壁上；
[0010]内壳，内壳安装于外壳内，内壳的侧壁为镂空结构，且内壳的内壁上设置有固定件，固定件能够夹紧夹具；
[0011]集流管，集流管设置于外壳内，集流管能与气源连通，且集流管上开设有吹扫喷淋孔，气源供给的气体能够由吹扫喷淋孔吹出以使夹具上的液体蒸发。
[0012]可选地，还包括驱动装置，驱动装置驱动连接于内壳，以驱动内壳旋转对夹具进行甩干。
[0013]可选地，还包括角接触球轴承，角接触球轴承设置于外壳的底部，内壳与角接触球轴承转动连接，驱动装置设置于外壳的顶部。
[0014]可选地，固定件包括卡块，卡块的数量为多个，多个卡块均设置在内壳的内壁上，且沿内壳的轴向间隔设置，相邻的两个卡块之间形成卡槽，夹具能够被卡紧固定于卡槽内。
[0015]可选地，卡槽的数量为多个。
[0016]可选地，卡块沿内壳的周向连续式设置，或，卡块沿内壳的周向间断式设置。
[0017]可选地，吹扫喷淋孔朝向卡槽设置。
[0018]可选地，还包括进气管，集流管通过进气管与气源连通。
[0019]可选地，还包括进水管以及三通管件，进水管的一端能与供液源连通，另一端通过三通管件与集流管连通，供液源供给的液体能够由吹扫喷淋孔喷出以冲刷夹具上的残渣。
[0020]可选地，还包括连通管，连通管的一端与外壳底部连通，另一端开口设置，连通管为透明的塑料材质或玻璃材质。
[0021]有益效果：
[0022]本技术提供的清洗干燥设备，在外壳的外壁上安装有超声波发生器，在外壳内安装侧壁为镂空结构的内壳，内壳的内壁上设置固定件，用于夹紧固定待清洗的夹具，同时，在外壳内还设置有集流管，集流管上开设吹扫喷淋孔，且集流管能够与气源连通。对夹具进行清洗时，向外壳内注入清洗液，开启超声波发生器对夹具进行清洗。清洗完毕后，将外壳内的清洗液排出，开启气源，由气源输出的气体通过集流管上的吹扫喷淋孔吹出，吹出的气体对外壳内的气体产生扰动，使得夹具上的清洗液能够快速蒸发，进而获得干燥夹具的效果。该清洗干燥设备将夹具的清洗和干燥集为一体，省去了清洗后将夹具转移到烤箱的操作步骤，并且采用风冷式干燥的方法，无需等待高温夹具自然冷却，也解决了高温烘烤干燥带来的烫伤操作人员的问题以及夹具冷却不彻底而破坏掩膜体的问题。
附图说明
[0023]图1是本实施例提供的清洗干燥设备的剖面结构示意图；
[0024]图2是本实施例提供的内壳、外壳以及超声波发生器的俯视结构示意图；
[0025]图3是本实施例中夹具的结构示意图。
[0026]图中：
[0027]100、外壳；110、排水口；120、注水口；130、外壳门；200、超声波发生器；300、内壳；310、卡块；311、卡槽；320、内壳门；400、集流管；410、吹扫喷淋孔；500、驱动装置；600、角接触球轴承；710、进气管；720、进气阀；730、进水管；740、进水阀；800、连通管；900、夹具。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0029]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第
一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0031]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0032]本实施例提供一种清洗干燥设备，用于对蓝宝石平片的夹具进行清洗和干燥，该清洗干燥设备不仅将清洗和干燥集为一体，还能够采用风冷干燥的方式对夹具进行干燥。
[0033]具体地，如图1和图2所示，本实施例提供的清洗干燥设备包括外壳100、内壳300、超声波发生器200以及集流管400，外壳100上开设有排水口110，超声波发生器200安装在外壳100的外壁上，内壳300安装在外壳100内，内壳300的侧壁为镂空结构，且内壳300的内壁上设置有固定件，该固定件能本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清洗干燥设备，其特征在于，包括：外壳(100)，所述外壳(100)上开设有排水口(110)；超声波发生器(200)，所述超声波发生器(200)安装于所述外壳(100)的外壁上；内壳(300)，所述内壳(300)安装于所述外壳(100)内，所述内壳(300)的侧壁为镂空结构，且所述内壳(300)的内壁上设置有固定件，所述固定件能够夹紧夹具(900)；集流管(400)，所述集流管(400)设置于所述外壳(100)内，所述集流管(400)能与气源连通，且所述集流管(400)上开设有吹扫喷淋孔(410)，所述气源供给的气体能够由所述吹扫喷淋孔(410)吹出以使所述夹具(900)上的液体蒸发。2.根据权利要求1所述的清洗干燥设备，其特征在于，还包括驱动装置(500)，所述驱动装置(500)驱动连接于所述内壳(300)，以驱动所述内壳(300)旋转对所述夹具(900)进行甩干。3.根据权利要求2所述的清洗干燥设备，其特征在于，还包括角接触球轴承(600)，所述角接触球轴承(600)设置于所述外壳(100)的底部，所述内壳(300)与所述角接触球轴承(600)转动连接，所述驱动装置(500)设置于所述外壳(100)的顶部。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的清洗干燥设备，其特征在于，所述固定件包括卡块(310)，所述卡块(310)的数量为多个，多个所述卡块(310)均设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：张赛南，
申请(专利权)人：广东中图半导体科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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