一种扫描电镜用加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电镜用加热器，包括底座，在底座的上部的陶瓷隔热环、陶瓷座、加热单元和均温盖；陶瓷座套装在陶瓷隔热环上部，加热单元设置在陶瓷座的顶部，陶瓷隔热环起到支撑加热单元以及隔绝加热单元与外部热传递的作用；加热单元包括依次设置在陶瓷座顶部的加热片和加热电阻；均温盖盖在加热单元上部，用于包裹加热单元；在加热时，将待测材料直接放置于均温盖上部进行加热；利用电极固定连接陶瓷座、加热片、加热电阻和均温盖；并且在组装后的陶瓷座、加热片、加热电阻和均温盖的外部套装有陶瓷外罩。本申请所设计的加热器的测温点可与待测材料接触，可以准确反映材料温度，提高试验结果的可靠性。提高试验结果的可靠性。提高试验结果的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜用加热器


[0001]本技术属于分析测试仪器领域，提供了一种可以与扫描电子显微镜相结合，用于材料原位研究的加热装置。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜是在科研和工业领域最常用的显微结构观察仪器之一，其特点是可以实现几十至几十万倍的连续放大，高景深，适合于科研和工业领域的绝大多数对材料显微结构分析需求。扫描电镜主机厂只提供基础的显微观察功能，一些额外的附加功能，如原位加载、加热、制冷等功能大多是其它仪器公司或科研人员研发。原位加热功能是扫描电镜仪器常见的附加功能。如何准确测量被加热材料的温度是扫描电镜原位加热装置的关键和难点，大多数扫描电镜原位加热装置由于测温点设计的不合理，使得被观察材料的温度往往远低于测温点温度。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术中存在的不足，本申请提出了一种扫描电镜用加热器，本加热器的测温点可与待测材料接触，可以准确反映材料温度，提高试验结果的可靠性。
[0004]本技术所采用的技术方案如下：
[0005]一种扫描电镜用加热器，包括底座，在底座的上部的陶瓷隔热环、陶瓷座、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜用加热器，其特征在于，包括底座，在底座的上部的陶瓷隔热环(3)、陶瓷座(7)、加热单元和均温盖(6)；所述陶瓷座(7)套装在陶瓷隔热环(3)上部，所述加热单元设置在陶瓷座(7)的顶部，陶瓷隔热环(3)起到支撑加热单元以及隔绝加热单元与外部热传递的作用；所述加热单元包括依次设置在陶瓷座(7)顶部的加热片(5)和加热电阻(11)；所述均温盖(6)盖在加热单元上部，用于包裹加热单元；在加热时，将待测材料直接放置于均温盖(6)上部进行加热；利用电极(4)固定连接陶瓷座(7)、加热片(5)、加热电阻(11)和均温盖(6)；并且在组装后的陶瓷座(7)、加热片(5)、加热电阻(11)和均温盖(6)的外部套装有陶瓷外罩(8)。2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜用加热器，其特征在于，所述底座包括连接座(1)，在连接座(1)的上部设置陶瓷底座(2)，连接座(1)与陶瓷底座(2)之间通过紧固件连接；且在陶瓷底座(2)上开设螺纹孔，用于与扫描电镜连接。3.根据权利要求2所述的一种扫描电镜用加热器，其特征在于，陶瓷底座(2)的上表面开设有圆形或环形凹槽，在该凹槽内装有竖直放置的陶瓷隔热环(3)。4.根据权利要求1所述的一种扫描电镜用加热器，其特征在于，陶瓷座(7)的外部呈圆柱状，且陶瓷座(7)的顶部封闭，陶瓷座(7)底部向上开设有圆柱形空腔(7
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【专利技术属性】
技术研发人员：范国华，唐光泽，杨尚京，
申请(专利权)人：长三角先进材料研究院，
类型：新型
国别省市：