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一种扫描电镜用加热器制造技术
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下载一种扫描电镜用加热器的技术资料
文档序号:33575351
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本实用新型公开了一种扫描电镜用加热器,包括底座,在底座的上部的陶瓷隔热环、陶瓷座、加热单元和均温盖;陶瓷座套装在陶瓷隔热环上部,加热单元设置在陶瓷座的顶部,陶瓷隔热环起到支撑加热单元以及隔绝加热单元与外部热传递的作用;加热单元包括依次设置在...
该专利属于长三角先进材料研究院所有,仅供学习研究参考,未经过长三角先进材料研究院授权不得商用。
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