【技术实现步骤摘要】
一种从废稀释剂中回收丙二醇甲醚的系统
[0001]本技术涉及工业废水处理
,特别涉及半导体工业废水的处理
,具体为一种从废稀释剂中回收丙二醇甲醚的系统。
技术介绍
[0002]丙二醇甲醚(PM)是一种二元醇醚类溶剂,属于低毒醚类,因其既有醚键又有羟基而具有良好的溶解性能,而丙二醇甲醚醋酸酯(PMA)分子结构中既有醚键,又有羰基,羰基又形成了酯的结构,在同一分子中既有非极性部分,又有极性部分,两部分的官能团既相互制约排斥,又各自起到其固有的作用,故而对极性和非极性的物质均有很强的溶解能力,因此常常将PM和PMA以一定配比互溶,在例如半导体、阳极感光材料、液晶显示屏和光刻胶等的生产中作为光阻稀释剂、光阻去除剂、去光阻缓冲液、剥离剂和清洗剂使用。
[0003]随着半导体行业的发展,半导体工业产生的废液随之增多,而由于PM虽然有微弱的醚味,但没有强刺激性的气味,使其用途更广泛、安全,PMA则是性能优良的低毒高级工业溶剂,因此如何从半导体光阻稀释剂废液中回收其中的丙二醇甲醚(PM)或者丙二醇甲醚醋酸酯(PMA),降 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种从废稀释剂中回收丙二醇甲醚的系统,其包括反应釜,其特征在于:粗蒸釜与所述反应釜的入口相连,所述反应釜的出口连接蒸发釜,所述反应釜还连接有碱液罐,所述蒸发釜的第一出口连接共沸精馏塔、第二出口连接冷却结晶器,所述共沸精馏塔的出料口连接冷凝器,所述冷凝器分别连接分水罐、成品罐,所述分水罐的第一出口连接所述共沸精馏塔的进口、第二出口连接废水收集槽,所述冷却结晶器依次连接离心机、干燥器。2.根据权利要求1所述的一种从废稀释剂中回收丙二醇甲醚的系统,其特征在于:所述冷凝器通过三通阀与所述分水罐、所述成品罐连接。3.根据权利要求1所述的一种从废稀释剂中回收丙二...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛国彬,李张成,郭维林,周漪雯,
申请(专利权)人:江苏电科环保有限公司,
类型:新型
国别省市:
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