一种PVD法生产硒化锌用密封件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PVD法生产硒化锌用密封件，包括中空的管罩和端盖，在管罩的外侧壁具有径向向外突出的第一法兰和第一台阶面，在端盖的环形侧壁的外侧壁具有径向向外突出的第二法兰，而在端盖的环形侧壁的内侧壁具有径向向内突出的第二台阶面，该第二台阶面相对于端盖的底壁为倾斜朝上延伸设置的。管罩与端盖通过第一法兰和第二法兰的连接实现固定，此时第一台阶面与第二台阶面密封压持在一起，而倾斜设置的第二台阶面能够增加与第一台阶面的密封接触面积，保证密封效果。本实用新型专利技术公开的一种PVD法生产硒化锌用密封件，包括管罩和端盖，两者能够通过自身的结构实现密封连接，解决了现有技术中密封固定效果差、生产效率低的技术问题。率低的技术问题。率低的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD法生产硒化锌用密封件


[0001]本技术涉及硒化锌的生产装置领域，尤其涉及一种PVD法生产硒化锌用密封件。

技术介绍

[0002]利用传统的物理气相沉积法(PVD)生产硒化锌多晶板料时，通常使用耐高温胶体将石英管罩端部与导流管粘盘密封粘接在一起。这种传统的固定方式，在实际使用时是存在一定问题的，例如密封胶中存在有害的化学成分，在粘结固定时会对操作人员造成身体伤害，尤其PVD生产硒化锌多晶板料是在高温条件下进行的，有害的化学成分更易挥发，不仅对操作人员造成伤害，而且也会污染环境。而且在高温条件下，密封胶耐热氧老化性能变差，导致密封胶的粘结密封效果变差，导致石英管罩与导流管粘盘容易发生脱离，而无法实现紧密管道间的结合。同时，该操作方法需要人工进行粘结，导致生产效率较低。
[0003]因此，需要研发一款新型的石英管罩与导流管粘盘，以解决现有技术中两者密封连接不牢固以及操作效率低的技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术实施例公开了一种PVD法生产硒化锌用密封件，该密封件包括管罩和端盖，两者能够通过自身的结构实现密封连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD法生产硒化锌用密封件，其特征在于，包括中空的管罩和端盖；所述管罩的外侧壁具有径向向外突出的第一法兰和第一台阶面；所述端盖具有环形侧壁和底壁，所述底壁具有连通内部的凸管，所述环形侧壁的外侧壁具有径向向外突出的第二法兰，且所述环形侧壁的内侧壁具有径向向内突出的第二台阶面，所述第二台阶面相对于底壁倾斜朝上延伸设置。2.根据权利要求1所述的PVD法生产硒化锌用密封件，其特征在于，所述管罩的外侧壁罩设有密封圈，所述密封圈与第一台阶面相邻，于管罩与端盖固定连接时，所述密封圈受到第一台阶面与第二台阶面的挤压力，使得第一台阶面与第二台阶面密封压持在一起。3.根据权利要求1所述的PVD法生产硒化锌用密封件，其特征在于，所述第一法兰与第二法兰在对位处设置有螺孔，所述第一法兰与第二法兰通过螺栓固定连接。4.根据权利要求3所述的PVD法生产硒化锌用密封件，其特征在于，所述螺孔的数量...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭晨光，黄雪丽，尹士平，陈小民，王艺娜，杨安，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：