一种硅片工艺槽在线清洗组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片工艺槽在线清洗组件，包括一级进水管路、二级进水管路及喷水管路，喷水管路与反应器一一对应设置；一级进水管路通过一级进水管夹卡接固定在槽体内壁，二级进水管路通过二级进水管夹卡接固定在槽体内，喷水管路通过喷水管夹卡接固定在反应器上；一级进水管路上设置有气动阀及手动调节阀并；喷水管路上沿轴向开设有至少一排对应反应器表面的喷水孔。本实用新型专利技术使用时预先通过手动调节阀打开一级进水管路，并通过PLC控制器控制气动阀自动的控制喷水管路的开关，在需要清洗反应器时可以通过一键控制，节省了人力和时间，大大降低了成本，提高工作效率，并有效保证了反应器上无结晶残留。保证了反应器上无结晶残留。保证了反应器上无结晶残留。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片工艺槽在线清洗组件


[0001]本技术涉及光伏电池片生产设备
，特别涉及一种硅片工艺槽在线清洗组件。

技术介绍

[0002]在进行光伏电池片生产时，硅片需要经过清洗制绒等多道生产工艺，清洗制绒时，可以采用在工艺槽内设置反应器，当硅片经过反应器时，由反应器激发槽内药液在硅片表面形成需要的绒面。
[0003]由于工艺槽内的药液时间长了会产生结晶，如果在反应器表面形成结晶则会减小反应器与硅片的接触面积，从而使得反应变得很慢，因此需要定期清理反应器表面的结晶，而由于工艺槽的槽体大而且多，所以清洗比较困难，费时且耗人工。且常规清洗采用纯净水，而纯净水会降低槽内药液浓度而导致反应效果变差。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供了一种硅片工艺槽在线清洗组件，包括一级进水管路，与所述一级进水管路连通的多组并列的二级进水管路，以及分别与对应组所述二级进水管路连通的多根并列的喷水管路，所述喷水管路与反应器一一对应设置；
[0005]所述一级进水管路通过设置在槽体内壁的一级进水管夹卡接固定，所述二级进水管路通过设置在槽体内壁的二级进水管夹卡接固定，所述喷水管路通过设置在反应器上的喷水管夹卡接固定；
[0006]所述一级进水管路上设置有气动阀及手动调节阀并连接至用于对应槽体硅片喷淋的主进水管路；
[0007]所述喷水管路上沿轴向开设有至少一排对应反应器表面的喷水孔。
[0008]其中，所述喷水管路通过喷水管连接器连接在所述二级进水管路上，以便于所述喷水管路的独立调节及维护更换。
[0009]进一步的，所述喷水管连接器内设置有轴承座，所述喷水管路与所述轴承座密封卡接，以实现所述喷水管路相对于所述二级进水管路的径向转动调节。
[0010]进一步的，所述一级进水管路的进水端还设置有过滤嘴，以用于滤除颗粒杂质并防止颗粒杂质堵塞所述喷水管路上的喷水孔。
[0011]其中，所述喷水管夹包括对称设置的两块夹块，两块所述夹块的一端均通过转轴安装在反应器上，两块所述夹块之间设置有复位弹簧，两块所述夹块的另一端均设置有对应所述喷水管夹的卡槽。
[0012]通过上述技术方案，本技术提供的在线清洗组件，由于喷水管路是通过喷水管夹卡接固定在反应器上的，只要调整好喷水管路的高度和距离，就可以通过调整喷水管路角度来调整清洗角度，从而保证喷水管路能精准地清洗反应器；由于喷水管路的主进水连的是喷洒的主进水，使用时预先通过手动调节阀打开一级进水管路，并通过PLC控制器控
制气动阀自动的控制喷水管路的开关，在需要清洗反应器时可以通过一键控制，节省了人力和时间，大大降低了成本，提高工作效率，并有效保证了反应器上无结晶残留。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0014]图1为本技术实施例所公开的在线清洗组件主视示意图；
[0015]图2为本技术实施例所公开的在线清洗组件侧视示意图；
[0016]图3为图2的A
‑
A向剖视示意图；
[0017]图4为本技术实施例所公开的喷水管夹结构示意图。
[0018]图中：10.一级进水管路；11.气动阀；12.手动调节阀；13.一级进水管夹；20.二级进水管路；21.二级进水管夹；22.喷水管连接器；30.喷水管路；31.喷水管夹；311.夹块；312.转轴；313.复位弹簧；314.卡槽；40.反应器。
具体实施方式
[0019]参考图1
‑
3，本技术提供的硅片工艺槽在线清洗组件，包括一级进水管路10，与一级进水管路10连通的多组并列的二级进水管路20，以及分别通过喷水管连接器22与对应组二级进水管路20连通的多根并列的喷水管路30，喷水管路30与反应器40一一对应设置；一级进水管路10通过设置在槽体内壁的一级进水管夹13卡接固定，二级进水管路20通过设置在槽体内壁的二级进水管夹21卡接固定，喷水管路30通过设置在反应器40上的喷水管夹31卡接固定；一级进水管路10上设置有气动阀11及手动调节阀12并连接至用于对应槽体硅片喷淋的主进水管路；喷水管路30上沿轴向开设有至少一排对应反应器40表面的喷水孔。
[0020]其中，喷水管连接器22内设置有轴承座，喷水管路30与轴承座密封卡接，以实现喷水管路30相对于二级进水管路20的径向转动调节；一级进水管路10的进水端还设置有过滤嘴，以用于滤除颗粒杂质并防止颗粒杂质堵塞喷水管路30上的喷水孔。
[0021]其中，参考图4，喷水管夹31包括对称设置的两块夹块311，两块夹块311的一端均通过转轴312安装在反应器40上，两块夹块311之间设置有复位弹簧313，两块夹块311的另一端均设置有对应喷水管夹31的卡槽314，在喷水管路30卡入卡槽314时复位弹簧313在两块夹块311的带动下伸展，待喷水管路30卡入卡槽314后复位弹簧313带动两端的夹块311复位以夹紧喷水管路30。
[0022]本技术提供的在线清洗组件，由于喷水管路30是通过喷水管夹31卡接固定在反应器40上的，只要调整好喷水管路30的高度和距离，就可以通过调整喷水管路30角度来调整清洗角度，从而保证喷水管路30能精准地清洗反应器40；由于喷水管路30的主进水连的是喷洒的主进水，使用时预先通过手动调节阀12打开一级进水管路10，并通过PLC控制器控制气动阀11自动的控制喷水管路30的开关，在需要清洗反应器40时可以通过一键控制，节省了人力和时间，大大降低了成本，提高工作效率，并有效保证了反应器40上无结晶残留。
[0023]对上述实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中
所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片工艺槽在线清洗组件，其特征在于，包括一级进水管路(10)，与所述一级进水管路(10)连通的多组并列的二级进水管路(20)，以及分别与对应组所述二级进水管路(20)连通的多根并列的喷水管路(30)，所述喷水管路(30)与反应器(40)一一对应设置；所述一级进水管路(10)通过设置在槽体内壁的一级进水管夹(13)卡接固定，所述二级进水管路(20)通过设置在槽体内壁的二级进水管夹(21)卡接固定，所述喷水管路(30)通过设置在反应器(40)上的喷水管夹(31)卡接固定；所述一级进水管路(10)上设置有气动阀(11)及手动调节阀(12)并连接至用于对应槽体硅片喷淋的主进水管路；所述喷水管路(30)上沿轴向开设有至少一排对应反应器(40)表面的喷水孔。2.根据权利要求1所述的一种硅片工艺槽在线清洗组件，其特征在于，所述喷水管路(30)通过喷水管连接器(22)连接在所述二级进水管路...

【专利技术属性】
技术研发人员：张淋，许亚琴，
申请(专利权)人：苏州普伊特自动化系统有限公司，
类型：新型
国别省市：