一种声表面波传感器的制作方法技术

本发明专利技术涉及传感器技术领域，提供了一种声表面波传感器的制作方法，包括以下步骤：步骤a，光刻；步骤b，显影，形成叉指电极以及设置于叉指电极两侧的反射格栅；步骤c，镀膜；步骤d，利用套刻板与掩膜版对板，在圆晶上镀上金刚石膜层；步骤f，在套刻板背板上均匀涂敷纳米粒子涂覆层，使纳米粒子涂覆层涂覆在圆晶上；步骤e，将圆晶放入温控箱内烘干，使纳米粒子涂覆层固化。与现有技术相比，本发明专利技术能够实现耐高温声表面波传感的批量化生产，提高生产效率，有利于耐高温声表面波传感器的推广和使用。利于耐高温声表面波传感器的推广和使用。利于耐高温声表面波传感器的推广和使用。

【技术实现步骤摘要】
一种声表面波传感器的制作方法


[0001]本专利技术涉及传感器
，具体涉及一种声表面波传感器的制作方法。

技术介绍

[0002]声表面波温度传感器是一种无源无线传感器，应用广泛，在航空航天等领域中具有重要的应用价值。声表面波温度传感器直接安装在被测物体的表面，在接收探询射频信号后返回带温度信息的射频信号到读入器中。目前的声表面波温度传感器难以耐受高温，在500摄氏度以上时很容易被催化，无法满足高温测量的要求。
[0003]现有厂家所生产的无源高温传感器主要为光纤类的传感器，成本昂贵，限制了其应用范围。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种声表面波传感器的制作方法，以解决目前耐高温的声表面波传感器制作成本昂贵的的技术问题。
[0005]为解决上述问题，本专利技术所采用的技术方案如下：
[0006]提供一种声表面波传感器的制作方法，包括以下步骤：步骤a，光刻；步骤b，显影，形成叉指电极以及设置于叉指电极两侧的反射格栅；步骤c，镀膜；步骤d，利用套刻板与掩膜版对板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声表面波传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤a，光刻；步骤b，显影，形成叉指电极以及设置于叉指电极两侧的反射格栅；步骤c，镀膜；步骤d，利用套刻板与掩膜版对板，在圆晶上镀上金刚石膜层；步骤f，在套刻板背板上均匀涂敷纳米粒子涂覆层，使纳米粒子涂覆层涂覆在圆晶上；步骤e，将圆晶放入温控箱内烘干，使纳米粒子涂覆层固化。2.根据权利要求1所述的一种声表面波传感器的制作方法，其特征在于，步骤d中，金刚石镀膜工艺选用磁控溅射工艺。3.根据权利要求1所述的一种声表面波传感器的制作方法，其特征在于，步骤d中，金刚石镀膜厚度控制在10
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50nm。4.根据权利要求1所述的一种声表面波传...

【专利技术属性】
技术研发人员：董波，
申请(专利权)人：西安聚安光科物联网科技有限公司，
类型：发明
国别省市：