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本发明涉及传感器技术领域，提供了一种声表面波传感器的制作方法，包括以下步骤：步骤a，光刻；步骤b，显影，形成叉指电极以及设置于叉指电极两侧的反射格栅；步骤c，镀膜；步骤d，利用套刻板与掩膜版对板，在圆晶上镀上金刚石膜层；步骤f，在套刻板背板...
该专利属于西安聚安光科物联网科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安聚安光科物联网科技有限公司授权不得商用。

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