一种磷化铟单晶制备系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种磷化铟单晶制备系统及方法，包括支撑架以及安装在支撑架上的抛光组件与位移组件，所述抛光组件包括第一固定台，所述第一固定台上固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端配合连接有第一主轴，所述第一主轴上配合连接有抛光头，当驱动第一电机旋转时，抛光头能够随着第一主轴旋转，所述抛光组件还包括第二固定台与齿轮安装台，所述第二固定台上固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端配合连接有第二主轴，系统在传动过程中平稳，传动效率高，易于控制，在保证加工效率的同时，还保证加工件的质量，提高了加工件的可靠性，提高了经济效益。提高了经济效益。提高了经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种磷化铟单晶制备系统及方法
[0001]应用领域
[0002]本专利技术涉及磷化铟材料制备设备领域，特别是一种磷化铟单晶制备系统及方法。

技术介绍

[0003]磷化铟单晶具有较高的电子迁移速率和良好的光学性能，是制备超高速超高频器件、光电器件以及光电集成电路的良好材料，并且磷化铟单晶作为一种重要的外延层衬底材料被广泛应用于光电器件。而磷化铟作为半导体基片，需要经过单晶生长、切片、外圆倒角、研磨、抛光及清洗封装等工艺过程，在切片及研磨过程中，晶片表面由于锯线及磨料的机械作用，磷化铟晶片表面会产生一定的机械损伤层。为了去除前道工序引入的表面缺陷，需要进行最后的抛光工艺，因为其表面质量决定了后续的外延层质量并最终影响磷化铟器件的性能。然而，目前的磷化铟抛光设备仍存在许多不足的地方，其一是多个工件在同时加工时，一般需要多个电机对工件进行独立控制，多个工件不能做到同步转动，进而造成多个工件在加工时出现不同的缺陷；其二是工件在加工时，不能根据加工时的温度或压力智能的控制加工参数。

技术实现思路

[0004]本专利技术克服了现有技术的不足，提供了一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磷化铟单晶制备系统，包括支撑架以及安装在支撑架上的抛光组件与位移组件，其特征在于：所述抛光组件包括第一固定台，所述第一固定台上固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端配合连接有第一主轴，所述第一主轴上配合连接有抛光头，当驱动第一电机旋转时，抛光头能够随着第一主轴旋转；所述抛光组件还包括第二固定台与齿轮安装台，所述第二固定台上固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端配合连接有第二主轴，所述第二主轴上配合连接有第一齿轮，所述第一齿轮安装在所述齿轮安装台的中部，当驱动第二电机时，第一齿轮能够随着第二主轴旋转；所述位移组件用于带动所述抛光头上下移动。2.根据权利要求1所述的一种磷化铟单晶制备系统，其特征在于：所述抛光头内部沿周向间隔设置有若干个安装腔，若干个所述安装腔上对应安装有第一传感器，所述第一传感器间信号互连，所述第一传感器用于检测抛光头的温度信息。3.根据权利要求1所述的一种磷化铟单晶制备系统，其特征在于：所述齿轮安装台沿周向间隔设置有若干个第二齿轮，若干个所述第二齿轮均与所述第一齿轮啮合传动，以使得所述第一齿轮能够带动若干个所述第二齿轮同步转动，所述第二齿轮上设置有固定轴，所述固定轴上固定连接有工件夹具，所述工件夹具用于夹紧工件。4.根据权利要求3所述的一种磷化铟单晶制备系统，其特征在于：所述齿轮安装台的外周壁上开设有滑动槽，所述滑动槽上滑动设置有齿环，所述齿环与所述第二齿轮啮合传动，所述齿轮安装台的上方设置有抛光台，所述固定轴贯穿所述抛光台的底部延伸至所述抛光台内。5.根据权利要求1所述的一种磷化铟单晶制备系统，其特征在于：所述位移组件包括第三电机，所述第三电机的输出端配合连接有螺纹丝杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘功寰，
申请(专利权)人：苏州中砥半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：