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本发明公开了一种磷化铟单晶制备系统及方法，包括支撑架以及安装在支撑架上的抛光组件与位移组件，所述抛光组件包括第一固定台，所述第一固定台上固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端配合连接有第一主轴，所述第一主轴上配合连接有抛光头，当驱动第一电...
该专利属于苏州中砥半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中砥半导体材料有限公司授权不得商用。

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