一种具有定向固定的晶圆片运输工具制造技术

本技术公开了一种具有定向固定的晶圆片运输工具，涉及物品运输技术领域，包括底盘，底盘内底面外圈设有环形导轨，环形导轨上滑动安装有多个倒L型支撑杆，环形导轨内圈中的底盘内底面上设有晶圆片承托的防护胶圈，倒L型支撑杆顶部内端设有用于晶圆片限位的压紧组件；底盘的上方水平设有盖板，底盘与盖板的外壁后端均固接有竖置的连接套，盖板上的连接套上套接在连接杆的上部；本技术通过套杆与连接杆配合，便于进行大数量运输，提高了运输效率，通过物料板上的散热孔，便于防止自然现象发生，再通过倒L型支撑杆与导向杆配合，提高了工作效率，进而能够实现定向固定的功能，最终解决了运输过程中晶圆片容易损坏的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及物品运输，尤其涉及一种具有定向固定的晶圆片运输工具。

技术介绍

1、晶圆片运输工具是半导体制造过程中需要用到的重要设备之一。常见的晶圆片运输工具包括机械手、传送带、橡皮垫等。其中，具有短距离定向固定功能的晶圆片运输工具主要指机械手和传送带；长距离运输通过晶圆片运输盒进行运输，而长距离运输中使用的晶圆片运输盒，通常需要专业的设备和技术，成本较高，并且长途运输需要较长时间，而晶圆片运输盒在运输时，因没有散热机构很容易导致受到温度影响，并且运输盒内部也没有相对应的防机械振动机构，会导致晶圆片破裂或损坏；因此，需对上述技术问题进行解决处理。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种具有定向固定的晶圆片运输工具。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种具有定向固定的晶圆片运输工具，包括底盘，所述底盘的槽口朝上设置，所述底盘内底面外圈设有环形导轨，所述环形导轨上滑动安装有多个倒l型支撑杆，环形导轨内圈中的底盘内底面上设有用于晶圆片承托的防护胶圈，所述倒本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有定向固定的晶圆片运输工具，包括底盘(1)，其特征在于：所述底盘(1)的槽口朝上设置，所述底盘(1)内底面外圈设有环形导轨(2)，所述环形导轨(2)上滑动安装有多个倒L型支撑杆(3)，环形导轨(2)内圈中的底盘(1)内底面上设有用于晶圆片承托的防护胶圈(5)，所述倒L型支撑杆(3)的顶部内端设有用于晶圆片限位的压紧组件；所述底盘(1)的上方水平设有盖板(4)，所述底盘(1)与盖板(4)的外壁后端均固接有竖置的连接套(7)，且底盘(1)上的连接套(7)内部竖向插接有连接杆(11)，所述盖板(4)上的连接套(7)上套接在连接杆(11)的上部。

2.根据权利要求1所述的一...

【技术特征摘要】

1.一种具有定向固定的晶圆片运输工具，包括底盘(1)，其特征在于：所述底盘(1)的槽口朝上设置，所述底盘(1)内底面外圈设有环形导轨(2)，所述环形导轨(2)上滑动安装有多个倒l型支撑杆(3)，环形导轨(2)内圈中的底盘(1)内底面上设有用于晶圆片承托的防护胶圈(5)，所述倒l型支撑杆(3)的顶部内端设有用于晶圆片限位的压紧组件；所述底盘(1)的上方水平设有盖板(4)，所述底盘(1)与盖板(4)的外壁后端均固接有竖置的连接套(7)，且底盘(1)上的连接套(7)内部竖向插接有连接杆(11)，所述盖板(4)上的连接套(7)上套接在连接杆(11)的上部。

2.根据权利要求1所述的一种具有定向固定的晶圆片运输工具，其特征在于：所述底盘(1)的底面中部均匀开设有多个圆形的散热孔(6)。

3.根据权利要求1所述的一种具有定向固定的晶圆片运输工具，其特征在于：所述连接套(7)的外壁上均旋合连接有贯穿进连接套(7)内的六角螺栓(13)，所述连接杆(11)的外壁上竖向等距开设有多个与六角螺栓(13)...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾正伟，
申请(专利权)人：苏州中砥半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：