一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方法技术方案

本发明专利技术提供一种氟化物提纯系统内的防爆加热器，包括加热容器和保温套管；所述加热容器外侧套设有保温套管；所述加热容器包括沿着其长度方向设置的上段、中段和下段；所述上段、中段和下段靠近中间的位置均设置有加热检测组件；所述加热检测组件包括配合使用的加热管和防爆传感器；本发明专利技术还提供一种氟化物提纯系统的使用方法；本发明专利技术加热器做成可拆卸式，方便后期拆装维修，吸附剂填充在内部容器中，氟化物气体也在内部容器流通，与加热器无接触。保证有毒有害气体隔绝，减少泄露可能，加热容器采用上中下三段单独控温，保证温度精准度，AB组防爆加热器组交换使用，增加工作效率。增加工作效率。增加工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方法


[0001]本专利技术涉及氟化物提纯装置，具体涉及一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方法。

技术介绍

[0002]电加热器是一种国际流行的电加热设备,用于对流动的液态、气态介质的升温、保温、加热,当加热介质在压力作用下通过电加热器加热腔，采用流体热力学原理均匀地带走电热元件工作中所产生的巨大热量，使被加热介质温度达到用户工艺要求。
[0003]现有的氟化物提纯系统没有吸附剂吸附氟化物气体内杂质提纯，这一步骤，生产的氟化物内含有微量杂质。
[0004]因此，需要对现有技术进行改进。

技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的技术问题是提供高效的一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方法。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种氟化物提纯系统内的防爆加热器，包括加热容器和保温套管；
[0007]所述加热容器外侧套设有保温套管；
[0008]所述加热容器包括沿着其长度方向设置的上段、中段和下段；所述上段、中段和下段靠近中间的位置均设置有加热检测组件；
[0009]所述加热检测组件包括配合使用的加热管和防爆传感器；
[0010]所述加热管位于保温套管内，加热管螺旋设置在加热容器靠近四周的位置，加热管上还设置有防爆接线盒；
[0011]所述防爆传感器通过传感器安装支架固定设置在保温套管上；
[0012]所述传感器安装支架为圆锥台形的框架，传感器安装支架底部与保温套管固定连接为一体，传感器安装支架顶部设置有旋转套，旋转套内表面设置有内螺纹；
[0013]所述防爆传感器上安装旋转轴，旋转轴外表面设置有外螺纹；
[0014]所述旋转套与旋转轴相适配，旋转轴与旋转套螺纹连接，防爆传感器的检测探头穿过保温套管上的测温孔后与加热容器的外壁抵接；
[0015]所述防爆传感器通过信号管与防爆接线盒信号连接。
[0016]作为对本专利技术一种氟化物提纯系统内的防爆加热器的改进：
[0017]所述加热容器的上段、中段和下段为可拆卸连接。
[0018]作为对本专利技术一种氟化物提纯系统内的防爆加热器的改进：
[0019]本专利技术还提供一种氟化物提纯系统，包括AB两组防爆加热器组，每组防爆加热器组均包含依次串联的若干防爆加热器；
[0020]氮气通道分别与AB两组防爆加热器组进口连通；
[0021]氟化物气体通道分别与AB两组防爆加热器组进口连通；
[0022]所述AB两组防爆加热器组出口分别与后续处理设备及尾气处理设备连接。
[0023]本专利技术还提供一种氟化物提纯系统的使用方法，包括以下步骤：
[0024]1)、A组防爆加热器组通常温通氟化物气体，内部吸附剂吸附杂质；同时B组防爆加热器组通氮气，PLC程序控制防爆加热器组中的防爆加热器加热温度，分段定时加热，使吸附剂上杂质脱附，氮气带走杂质进尾气处理设备；直到一个工作流程结束，执行步骤2；
[0025]2)、B组防爆加热器组通常温通氟化物气体，内部吸附剂吸附杂质；同时A组防爆加热器组通氮气，PLC程序控制防爆加热器组中的防爆加热器加热温度，分段定时加热，使吸附剂上杂质脱附，氮气带走杂质进尾气处理设备；直到一个工作流程结束，执行步骤3；
[0026]3)、重复步骤1
‑
2，AB组防爆加热器组交换使用。
[0027]本专利技术一种氟化物提纯系统、氟化物提纯系统内的防爆加热器及使用方法的技术优势为：
[0028]1.加热器做成可拆卸式，方便后期拆装维修。
[0029]2.吸附剂填充在内部容器中，氟化物气体也在内部容器流通，与加热器无接触。保证有毒有害气体隔绝，减少泄露可能。
[0030]3.加热容器采用上中下三段单独控温，保证温度精准度。
[0031]4.AB组防爆加热器组交换使用，增加工作效率。
附图说明
[0032]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步详细说明。
[0033]图1是本专利技术一种氟化物提纯系统内的防爆加热器的结构示意图；
[0034]图2是图1中防爆传感器3与加热容器1配合使用的结构示意图；
[0035]图3是一种氟化物提纯系统的结构示意图。
具体实施方式
[0036]下面结合具体实施例对本专利技术进行进一步描述，但本专利技术的保护范围并不仅限于此。
[0037]实施例1、一种氟化物提纯系统内的防爆加热器，如图1所示，包括加热容器1和保温套管2。
[0038]加热容器1外表面覆盖套设有保温套管2。
[0039]加热容器1沿着其长度方向设置有若干加热检测组件；加热容器1两端分别设有进气口14和出气口15。
[0040]在本实施例中，将加热容器1从上到下依次等距分为上段11、中段12和下段13共三段，每段的靠近中间的位置均设置有加热检测组件，分为三段可以方便后续对加热容器1进行分段单独控制，从而保证温度精准度。
[0041]加热检测组件包括配合使用的加热管4和防爆传感器3；
[0042]加热管4位于保温套管2内，加热管4螺旋设置在加热容器1靠近四周的位置，通过控制加热管4对加热容器1进行升温加热，加热管4上还设置有防爆接线盒41。
[0043]防爆传感器3通过传感器安装支架31固定设置在保温套管2上；
[0044]传感器安装支架31为圆锥台形的框架，传感器安装支架31底部与保温套管2固定连接为一体，传感器安装支架31顶部设置有旋转套32，旋转套32内表面设置有内螺纹；
[0045]防爆传感器3上安装旋转轴33，旋转轴33外表面设置有外螺纹；
[0046]旋转套32与旋转轴33相适配，旋转轴33与旋转套32螺纹连接，防爆传感器3的检测探头34穿过保温套管2上的测温孔21后与加热容器1的外壁抵接；
[0047]通过转动防爆传感器3，可以使得旋转轴33与旋转套32旋动，从而调整检测探头34在测温孔21中的伸入长度，从而调整检测探头34是否与加热容器1的外壁抵接。
[0048]防爆传感器3通过信号管与防爆接线盒41信号连接，防爆传感器3检测加热容器1中的温度然后传输到防爆接线盒41，根据防爆传感器3检测到的加热容器1中的温度和预先设定的温度进行温控判断，通过控制加热管4的加热功率对加热容器1的加热。
[0049]在使用时，通过加热管4控制上段11、中段12和下段13的温度相同，三段单独控温，保证温度精准度。
[0050]加热容器1的上段11、中段12和下段13为可拆卸连接，在需要更换维修时，可以将上段11、中段12和下段13从保温套管2的内腔中依次取出，更换维修相应的部件，再重新组装回去。
[0051]加热容器1的上段11、中段12和下段13内部填充有氟化物吸附剂，氟化物吸附剂可以吸收氟化物气体中的大部分有毒有害气体，氟化物气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氟化物提纯系统内的防爆加热器，其特征在于：包括加热容器(1)和保温套管(2)；所述加热容器(1)外侧套设有保温套管(2)；所述加热容器(1)包括沿着其长度方向设置的上段(11)、中段(12)和下段(13)；所述上段(11)、中段(12)和下段(13)靠近中间的位置均设置有加热检测组件；所述加热检测组件包括配合使用的加热管(4)和防爆传感器(3)；所述加热管(4)位于保温套管(2)内，加热管(4)螺旋设置在加热容器(1)靠近四周的位置，加热管(4)上还设置有防爆接线盒(41)；所述防爆传感器(3)通过传感器安装支架(31)固定设置在保温套管(2)上；所述传感器安装支架(31)为圆锥台形的框架，传感器安装支架(31)底部与保温套管(2)固定连接为一体，传感器安装支架(31)顶部设置有旋转套(32)，旋转套(32)内表面设置有内螺纹；所述防爆传感器(3)上安装旋转轴(33)，旋转轴(33)外表面设置有外螺纹；所述旋转套(32)与旋转轴(33)相适配，旋转轴(33)与旋转套(32)螺纹连接，防爆传感器(3)的检测探头(34)穿过保温套管(2)上的测温孔(21)后与加热容器(1)的外壁抵接；所述防爆传感器(3)通过信号管与防爆接线盒(41)信号连接。2.根据权利要求1所述的一种氟化物提纯系统内的防爆加热器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：武晓文，李超俊，
申请(专利权)人：杭州量动自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：