运输装置制造方法及图纸

运输装置包括沿预定路径延伸的运输轨道，配置为能沿运输轨道移动以运输材料的运输车辆，以及安装在运输车辆上以与运输轨道相邻并配置为对运输车辆施加涡流制动力的制动单元。配置为对运输车辆施加涡流制动力的制动单元。配置为对运输车辆施加涡流制动力的制动单元。

【技术实现步骤摘要】
运输装置


[0001]本公开内容涉及运输装置。更具体地，本公开内容涉及诸如用于在半导体设备制造过程中运输材料的高空提升运输(OHT)的运输装置。

技术介绍

[0002]在半导体设备的制造过程中，诸如半导体晶圆、印刷电路板等材料可由运输设备运输，如高空提升运输(OHT)、轨道导向车(RGV)、自动导向车(AGV)等。
[0003]例如，OHT装置可以包括被配置为可沿着安装在净室的天花板部分上的运输轨道移动的运输车辆。运输车辆可包括被配置为可在运输轨道上移动的驱动模块和与驱动模块的下部分连接的提升模块。
[0004]驱动模块可以包括前驱动单元，其包括设置在运输轨道上的前轮和用于使前轮旋转的前马达，以及后驱动单元，其包括设置在运输轨道上的后轮和用于使后轮旋转的后马达。
[0005]提升模块可以包括手部单元，用于拿取容器，诸如用于运输材料(例如半导体晶圆)的前开式晶圆传送盒(FOUP)，以及用于使用提升带手部单元的提升单元。
[0006]同时，当运输车辆沿着运输轨道移动时，可能会产生振动，并且该振动可能导致运输车辆和材料本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.运输装置，其包括：沿预定路径延伸的运输轨道；配置为能沿所述运输轨道移动以运输材料的运输车辆；以及安装在所述运输车辆上以与所述运输轨道相邻并被配置为对所述运输车辆施加涡轮电流制动力的制动单元。2.如权利要求1所述的运输装置，其进一步包括：安装在所述运输车辆上并配置为感测所述运输车辆的振动的振动传感器；以及用于根据来自所述振动传感器的信号控制所述制动单元的操作的制动控制器。3.如权利要求2所述的运输装置，其中所述制动单元包括：安装在所述运输车辆上以与所述运输轨道相邻的电磁铁；以及用于对所述电磁铁施加制动电流的电源，并且所述制动控制器基于来自所述振动传感器的信号控制所述电源的运行。4.如权利要求2所述的运输装置，其中所述制动单元包括：安装在所述运输车辆上以与所述运输轨道相邻的永磁体；以及用于调整所述运输轨道和所述永磁体之间的间隙的磁体驱动单元，并且所述制动控制器基于来自所述振动传感器的信号控制所述磁体驱动单元的操作。5.运输装置，其包括：沿预定运输路径相互平行延伸的第一运输轨道和第二运输轨道；运输车辆，包括设置在所述第一运输轨道和第二运输轨道上并被配置为能沿所述第一运输轨道和所述第二运输轨道移动的驱动模块，以及与所述驱动模块连接并被配置为提升材料的提升模块；以及安装在所述驱动模块上以与所述第一运输轨道和所述第二运输轨道相邻并被配置为对所述驱动模块施加涡流制动力的制动单元。6.如权利要求5所述的运输装置，其中所述驱动模块包括：前驱动单元，其包括分别设置在所述第一运输轨道和所述第二运输轨道上的前轮；以及后驱动单元，其包括分别设置在所述第一运输轨道和所述第二运输轨道上的后轮，并且所述制动单元包括：安装在所述前驱动单元上的前制动单元，以及安装在所述后驱动单元上的后制动单元。7.如权利要求6所述的运输装置，其进一步包括：安装在所述前驱动单元上并被配置为感测所述前驱动单元的振动的前振动传感器；安装在所述后驱动单元上并被配置为感测所述后驱动单元的振动的后振动传感器；以及用于基于来自所述前振动传感器的信号控制所述前制动单元的操作和基于来自所述后振动传感器的信号控制所述后制动单元的操作的制动控制器。8.如权利要求7所述的运输装置，其中所述前制动单元包括：与所述第一运输轨道相邻设置的第一电磁铁；
与所述第二运输轨道相邻设置的第二电磁铁；以及用于将第一制动电流施加到所述第一电磁铁和所述第二电磁铁的第一电源，所述后制动单元包括：与所述第一运输轨道相邻设置的第三电磁铁；与所述第二运输轨道相邻设置的第四电磁铁；以及用于向所述第三电磁铁和所述第四电磁铁施加第二制动电流的第二电源，并且所述制动控制器分别基于来自第一振动传感器和第二振动传感器的信号控制所述第一制动电流和所述第二制动电流。9.如权利要求7所述的运输装置，其中所述前制动单元包括：与所述第一运输轨道相邻设置的第一永磁体；与所述第二运输轨道相邻设置的第二永磁体；以及用于调整所述第一运输轨道与所述第一永磁体之间的间隙以及所述第二运输轨道与所述第二永磁体之间的间隙的第一磁体驱动单元，所述后制动单元包括：与所述第一运输轨道相邻设置的第三永磁体；与所述第二运输轨道相邻设置的第四永磁体；以及用于调整所述第一运输轨道与所述第三永磁体之间的间隙以及所述第二运输轨道与所述第四永磁体之间的间隙的第二磁体驱动单元，并且所述制动控制器分别基于来自第一振动传感器和第二振动传感器的信号来控制所述第一磁体驱动单元和所述第二磁体驱动单元的操作。10.如权利要求7所述的运输装置，其中所述前制动单元包括：与所述第一运输轨道相邻设置的第一永磁体；设置在所述第一永磁体一侧上的第一电磁铁；将所述第一永磁体和所述第一电磁铁的端部相互连接的第一磁极件；与所述第二运输轨道相邻设置的第二永磁体；设置在所述第二永磁体一侧上的第二电磁铁；将所述第二永磁体和所述第二电磁铁的端部相互连接的第二磁极件；以及用于向所述第一电磁铁和所述第二电磁铁施加第一制动电流的第一电源，后制动单元包括：与所述第一运输轨道相邻设置的第三永磁体；设置在所述第三永磁体一侧上的第三电磁铁；将所述第三永磁体和所述第三电磁铁的两端...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵材翼，曹吉铉，赵忠一，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：