运输装置及其控制方法制造方法及图纸

运输装置包括用于运输材料的运输模块，其中安装有用于控制运输模块的操作的控制程序的第一控制模块，以及其中安装有该控制程序的第二控制模块。第二控制模块监测第一控制模块的操作，并在第一控制模块中发生故障时执行控制程序以控制运输模块的操作。制程序以控制运输模块的操作。制程序以控制运输模块的操作。

【技术实现步骤摘要】
运输装置及其控制方法


[0001]本公开涉及运输装置及其控制方法。更具体地说，本公开涉及用于在半导体器件制造过程中运输材料的运输装置，以及控制该装置的方法。

技术介绍

[0002]在半导体器件的制造过程中，诸如半导体晶圆、印刷电路板等材料可以由诸如架空起重运输(OHT)、轨道导向车(RGV)、自动导向车(AGV)、塔式升降机等运输装置运输，并且可以存储在包括用于存储材料的多个架子和用于传送材料的传送机器人的仓储装置中。
[0003]材料的运输可以由上部控制模块(例如材料控制系统(MCS))控制。运输装置可以包括用于运输材料的运输模块和用于控制运输模块的操作的控制模块，以及可以安装在控制模块中用于控制运输模块的操作的控制程序。控制模块可以接收来自上部控制模块的运输命令，并可以执行控制程序以根据运输命令控制运输模块的操作。
[0004]当使用运输装置运输材料的同时，控制模块发生故障时，例如，当网络故障、电源故障等发生时，运输模块的操作可能被停止，从而材料运输所需的时间可能被增加。

技术实现思路

[0005]本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.运输装置，其包括：被配置为运输材料的运输模块；其中安装有用于控制所述运输模块的操作的控制程序的第一控制模块；以及其中安装有所述控制程序的第二控制模块，其中所述第二控制模块监测所述第一控制模块的操作，并在所述第一控制模块中发生故障时执行所述控制程序以控制所述运输模块的操作。2.如权利要求1所述的运输装置，其中所述第一控制模块从上部控制模块接收所述材料的信息以及所述材料的运输命令。3.如权利要求2所述的运输装置，其中所述第一控制模块生成与所述运输模块在运输所述材料时的操作有关的事件日志文件，并且包括用于存储所述材料的信息、所述材料的运输命令和所述事件日志文件的第一存储单元。4.如权利要求3所述的运输装置，其中所述第二控制模块包含第二存储单元，并且将存储在所述第一存储单元中的所述材料的信息、所述材料的运输命令和所述事件日志文件复制并存储在第二存储单元中。5.如权利要求3所述的运输装置，其中所述第二控制模块根据所述第一控制模块生成的所述事件日志文件来确定故障是否在所述第一控制模块中发生。6.如权利要求1所述的运输装置，其中所述运输模块包括：运输机器人，其具有用于处理所述材料的机器人手；用于移动所述运输机器人的驱动单元；以及安装在所述机器人手上并被配置为检测所述材料的传感器。7.如权利要求6所述的运输装置，其中所述第二控制模块在执行所述控制程序时使用所述传感器检查是否有材料被所述运输模块运输。8.如权利要求7所述的运输装置，其中存储材料信息的电子标签附在所述材料上，并且所述运输机器人包括用于从所述电子标签上识别所述材料的信息的阅读器。9.如权利要求8所述的运输装置，其中所述第一控制模块从上部控制模块接收所述材料的信息和所述材料的运输命令，并且所述第二控制模块从所述第一控制模块复制并存储所述材料的信息和所述材料的运输命令，并且将从所述第一控制模块复制的所述材料的信息与所述阅读器识别的所述材料的信息进行对比。10.如权利要求9所述的运输装置，其中所述第二控制模块控制所述运输模块的操作，以便在从所述第一控制模块复制的所述材料的信息与所述阅读器识别的所述材料的信息相同时恢复所述材料的运输。11.如权利要求6所述的运输装置，其中所述运输模块进一步包括控制单元，用于根据从所述第一控制模块或所述第二控制模块提供的操作命令控制运输所述机器人和所述驱动单元的操作。12.如权利要求1所述的运输装置，其中所述第二控制模块检查所述控制程序是否由所述故障转移功能执行。13.运输装置的控制方法，所述运输装置包括被配置为运输材料的运输模块、其中安装有用于控制所述运输模块的操作的...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔钟锡，慎妵禧，朴珉材，金罗贤，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：