毛细槽表面处理方法及均热板技术

本发明专利技术公开了一种毛细槽表面处理方法及均热板。所述方法包括如下步骤：提供一金属基材，所述金属基材的表面具有多个毛细槽；在所述毛细槽的槽壁覆盖防锈材料形成防锈保护层。上述毛细槽表面处理方法通过在毛细槽的槽壁覆盖防锈材料形成防锈保护层，可对毛细槽槽壁进行防锈保护，防止其在高温高湿环境下发生腐蚀，还可降低毛细槽槽壁与液体工质的接触角，增加了毛细槽槽壁的润湿性，相应提高液体工质与毛细槽之间的毛细作用力，增强毛细槽中液体工质的回流能力，均热板的散热效果较佳，且覆盖防锈材料的工艺过程简单、易操作、成本较低，在覆盖后不会影响金属基材的力学性能。在覆盖后不会影响金属基材的力学性能。在覆盖后不会影响金属基材的力学性能。

【技术实现步骤摘要】
毛细槽表面处理方法及均热板


[0001]本专利技术涉及散热
，具体涉及一种毛细槽表面处理方法及均热板。

技术介绍

[0002]随着5G通信时代的到来，手机芯片的信息处理量越来越大，耗电量及发热量也越来越高，这对手机散热系统的要求也就更高。超薄均热板(Vapor Chamber，VC)以其优异的散热效果及超薄结构，正逐渐成为5G手机散热系统的标配。均热板是一个内壁具有微细结构的真空腔体，当热量从热源传导至发热端时，真空腔体里的液体工质受热开始气化，气化后的液体工质充满整个真空腔体，当气化后的液体工质到达冷凝端时便会开始液化，并释放出在蒸发时累积的热，液化后的液体工质会通过微细结构的毛细管道再回流到发热端，并以此周而复始进行，从而达到均热的效果。
[0003]目前的均热板是一般是由铜或铜合金腔体内置毛细结构制成的，在低真空状态下，液体工质会在均热板内腔形成高温高湿环境，从而对铜或铜合金进行缓慢腐蚀。在实现本申请的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：现有的非蚀刻类均热板一般采用表面充氮高温烧结(600℃以上)保护层的方法，制作工艺比较复杂，高温烧结防锈的加工成本较高，且对铜或铜合金的原材特性有要求，高温烧结情况下力学性能可能会发生变化；蚀刻类均热板在完成毛细槽加工后无法再进行高温烧结防锈，且蚀刻类均热板的毛细槽与液体工质的接触角较大，润湿性较差，从而使得均热板的散热效果较差。

技术实现思路

[0004]鉴于以上内容，有必要提出一种毛细槽表面处理方法及均热板，以解决上述问题。/>[0005]本申请的实施例提供一种毛细槽表面处理方法，包括如下步骤：
[0006]提供一金属基材，所述金属基材的表面具有多个毛细槽；
[0007]在所述毛细槽的槽壁覆盖防锈材料形成防锈保护层。
[0008]上述毛细槽表面处理方法通过在毛细槽的槽壁覆盖防锈材料形成防锈保护层，可对毛细槽槽壁进行防锈保护，防止其在高温高湿环境下发生腐蚀，还可降低毛细槽槽壁与液体工质的接触角，增加了毛细槽槽壁的润湿性，相应提高液体工质与毛细槽之间的毛细作用力，增强毛细槽中液体工质的回流能力，均热板的散热效果较佳，且覆盖防锈材料的工艺过程简单、易操作、成本较低，在覆盖后不会影响金属基材的力学性能。
[0009]在一些实施例中，所述在所述毛细槽的槽壁覆盖防锈材料形成防锈保护层的步骤之前，所述方法还包括：
[0010]粗化处理所述毛细槽的槽壁。
[0011]如此，改变了毛细槽槽壁的表面外观结构，增大了毛细槽槽壁的粗糙度，进一步地增加毛细槽槽壁的润湿性，提高了液体工质与毛细槽之间的毛细作用力。
[0012]在一些实施例中，形成所述防锈保护层的方式为利用喷淋、浸泡或蒸镀的方式将所述防锈材料形成于所述毛细槽的槽壁。
[0013]如此，可对毛细槽槽壁进行防锈保护，并降低毛细槽槽壁与液体工质的接触角，增加了毛细槽槽壁的润湿性。
[0014]在一些实施例中，防锈保护层为所述防锈材料形成的单层结构或多层结构。
[0015]如此，单层结构或多层结构的防锈保护层均可对毛细槽槽壁进行防锈保护，并降低毛细槽槽壁与液体工质的接触角，增加了毛细槽槽壁的润湿性。
[0016]在一些实施例中，所述隔离膜的形成材料包括2,6-二叔丁基对甲酚、三唑化合物、芳香醇的一种或多种。
[0017]如此，可根据实际需要选择相应地的防锈材料覆盖在毛细槽槽壁形成防锈保护层，以进行防锈保护的同时，降低毛细槽槽壁与液体工质的接触角。
[0018]在一些实施例中，所述金属基材的厚度为30μm-205μm，所述毛细槽的深度为9μm-102.5μm。
[0019]如此，可保证金属基材的强度及毛细槽的毛细效果，且满足现有超薄的厚度要求。
[0020]在一些实施例中，所述防锈保护层的厚度为20nm-100μm。
[0021]如此，可对毛细槽槽壁进行防锈保护，防止其在高温高湿环境下发生腐蚀，还可降低毛细槽槽壁与液体工质的接触角，增加毛细槽槽壁的润湿性。
[0022]本申请的实施例还提供一种均热板，包括：
[0023]第一盖板，具有第一侧，所述第一侧间隔设置有多个支撑部，多个所述支撑部之间的间隙相互连通并形成一散热腔；及
[0024]第二盖板，具有第二侧，所述第二侧与所述第一侧相对设置，所述第二侧的边缘与所述第一侧的边缘密封连接，所述第二侧设有多个毛细槽，所述支撑部靠近所述第二盖板的一端抵接于所述毛细槽的槽壁，每个所述毛细槽均与所述散热腔相连通，且每个所述毛细槽的槽壁形成有防锈保护层。
[0025]上述均热板通过在毛细槽的槽壁覆盖防锈材料形成防锈保护层，可对毛细槽槽壁进行防锈保护，防止其在高温高湿环境下发生腐蚀，还可降低毛细槽槽壁与液体工质的接触角，增加了毛细槽槽壁的润湿性，相应提高液体工质与毛细槽之间的毛细作用力，增强毛细槽中液体工质的回流能力，均热板的散热效果较佳，且覆盖防锈材料的工艺过程简单、易操作、成本较低，在覆盖后不会影响金属基材的力学性能。
[0026]在一些实施例中，多个所述毛细槽并排设置，相邻的两个所述毛细槽之间的槽壁设有连通口，相邻的两个所述毛细槽的槽壁上的连通口错开设置。
[0027]如此，可防止毛细槽内的液体工质气化干涸而回补不及时。
[0028]在一些实施例中，每个所述支撑部的外侧壁开设有凹槽，所述凹槽沿所述支撑部的高度方向延伸并贯穿所述支撑部靠近所述第二盖板的一端。
[0029]如此，有利于凹槽内的液化的液体工质快速下落至毛细槽的槽壁并流动至毛细槽内。
附图说明
[0030]图1是本专利技术第一实施例中提出的毛细槽表面处理方法的流程图。
[0031]图2是本专利技术第二实施例中提出的均热板和芯片的装配结构示意图。
[0032]图3是图1所示的均热板的结构示意图。
[0033]图4是图3中多个支撑部的仰视图。
[0034]图5是图4中多个毛细槽的俯视图。
[0035]主要元件符号说明
[0036]均热板
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100
[0037]芯片
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200
[0038]第一盖板
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10
[0039]第一侧
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12
[0040]支撑部
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14
[0041]凹槽
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142
[0042]散热腔
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16
[0043]第二盖板
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种毛细槽表面处理方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一金属基材，所述金属基材的表面具有多个毛细槽；在所述毛细槽的槽壁覆盖防锈材料形成防锈保护层。2.如权利要求1所述的毛细槽表面处理方法，其特征在于，所述在所述毛细槽的槽壁覆盖防锈材料形成防锈保护层的步骤之前，所述方法还包括：粗化处理所述毛细槽的槽壁。3.如权利要求1或2所述的毛细槽表面处理方法，其特征在于，形成所述防锈保护层的方式为利用喷淋、浸泡或蒸镀方式将所述防锈材料形成于所述毛细槽的槽壁。4.如权利要求1或2所述的毛细槽表面处理方法，其特征在于，所述防锈保护层为所述防锈材料形成的单层结构或多层结构。5.如权利要求4所述的毛细槽表面处理方法，其特征在于，所述隔离膜的形成材料包括2，6-二叔丁基对甲酚、三唑化合物、芳香醇的一种或多种。6.如权利要求1或2所述的毛细槽表面处理方法，其特征在于，所述金属基材的厚度为30μm-205μm，所述毛细槽的深度为9μm-10...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙万华，揭海欢，
申请(专利权)人：江西新菲新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：