一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜制造技术

本发明专利技术公开了一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜，包括反射镜基底，以及在反射镜基底上依次附着的金属主反射层，间隔层，反射率调控层和光谱平坦度调控层；其中金属主反射层为铝，银，金或铬，间隔层为Al2O3，反射率调控层为铬，光谱平坦度调控层包含交替排布的低折射率层和高折射率层，本发明专利技术为获得覆盖整个可见光区450nm

【技术实现步骤摘要】
一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜


[0001]本专利技术属于光学仪器领域，涉及一种可应用于光学分析仪器、光学探测器的宽谱段低透过率、低反射率反射镜。

技术介绍

[0002]反射镜是指光线在一定角度入射时，部分或全部入射光线会被反射回入射介质，从而实现改变光线传播方向的目的，是光学系统的关键构成部分，广泛应用于分析测试仪器、遥感相机等领域，反射镜的应用如图1所示。反射镜分为介质和金属基两类，介质反射镜通过增加膜层数量展宽其反射光谱带宽，但会使膜层制备工艺难度增加，对于膜层质量满足要求的场合，宽带反射镜一般为金属银、铝或金，即金属基反射镜，这类反射镜的优点是反射率高、反射谱段宽，可以覆盖可见中红外谱段。图2为常用单一金属膜层+介质保护层传统反射镜的反射谱线，400nm
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1200nm平均反射率达到98％，透过率小于0.1％。由于金属基反射镜制备工艺成熟及光谱优点，其应用领域极为广泛。
[0003]由于金属自身反射率较高，传统的金属(银、铝或金)+介质反射镜在可见近红外的平均反射率会大于95％，无法满足特殊探测器对反射镜在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜，其特征在于，包括反射镜基底，以及在反射镜基底上依次附着的金属主反射层，间隔层，反射率调控层和光谱平坦度调控层；金属主反射层为铝，银，金或铬；间隔层为Al2O3；反射率调控层为铬，反射率调控层的厚度为0nm～80nm；光谱平坦度调控层包含交替排布的低折射率层和高折射率层；所述低折射率层的折射率为1.40～1.47，所述高折射率层的折射率为1.9～2.4。2.根据权利要求1所述的一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜，其特征在于，所述金属主反射层的厚度为100nm～200nm；所述间隔层的厚度为8nm～30nm。3.根据权利要求1所述的一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜，其特征在于，所述光谱平坦度调控层中，低折射率层的材料为二氧化硅，高折射率层的材料为二氧化钛，五氧化二钽，五氧化三钛，三氧化二钛或五氧化二铌中的一种或一种以上。4.根据权利要求1所述的一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜，其特征在于，所述光谱平坦度调控层包含≥1层低折射率层和≥1层高折射率层；所述低折射率层直接附着于反射率调控层上。5.根据权利要求1所述的一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜，其特征在于，所述低折射率层的厚度为10nm～100nm，高折射率层的厚度为9nm～90nm。...

【专利技术属性】
技术研发人员：王利，董滨，郝言慧，王刚，白云立，郭乃豪，杨业，韩杰，姜彦辉，常君磊，
申请(专利权)人：北京空间机电研究所，
类型：发明
国别省市：