一种平面图像传感器制造技术

本发明专利技术公开一种平面图像传感器。包括像元阵列和衬底，所述衬底包括读出电路，所述像元阵列设置于所述衬底上，所述像元阵列中的每个像元包括吸收层和微桥，所述微桥与所述读出电路连接，所述吸收层包括多个电磁波吸收块，所述多个电磁波吸收块缝隙间隔排列。本发明专利技术能够增大入射能量的吸收面积，提高吸收效率，在提高牺牲层的释放效率的同时，减少热响应时间。减少热响应时间。减少热响应时间。

【技术实现步骤摘要】
一种平面图像传感器


[0001]本专利技术涉及图像传感器
，具体涉及一种平面图像传感器。

技术介绍

[0002]近年来，图像传感器领域中非制冷红外焦平面探测器技术得到快速发展，已广泛应用于国防、航天、安防、生产监控等众多领域。微测辐射热计(Micro
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bolometer)是非制冷红外探测器的主流技术之一，主要是基于具有热敏特性的材料在温度发生变化时电阻值发生相应的变化而制造的一种非制冷红外探测器。当在热敏电阻两端施加固定的偏置电压或电流源，入射红外辐射引起的温度变化使得热敏电阻阻值变化，从而使电流、电压发生改变，并由读出电路(ROIC)读出电信号的变化。
[0003]随着微机械制造MEMS技术的发展，非制冷红外焦平面探测器已实现小型化，高集成，批量化生产。非制冷红外焦平面阵列探测器的单元通常采用悬臂梁微桥结构，利用牺牲层释放工艺形成微桥结构，桥面上的热敏材料通过桥臂与读出电路相连。非制冷红外焦平面探测器的小型化和高分辨率，对探测器的尺寸要求越来越小，阵列要求越来越大。随着像元尺寸的缩小，入射到像元中的红外辐射能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面图像传感器，其特征在于，包括像元阵列和衬底，所述衬底包括读出电路，所述像元阵列设置于所述衬底上，所述像元阵列中的每个像元包括吸收层和微桥，所述微桥与所述读出电路连接，所述吸收层包括多个电磁波吸收块，所述多个电磁波吸收块缝隙间隔排列。2.根据权利要求1所述的平面图像传感器，其特征在于，所述吸收层还包括：支撑座和横梁，所述支撑座顶端与所述横梁底面固定连接，所述支撑座底面与所述微桥固定连接，所述多个电磁波吸收块缝隙间隔排列于所述横梁表面上。3.根据权利要求2所述的平面图像传感器，其特征在于，所述多个电磁波吸...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成强，
申请(专利权)人：北京安酷智芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：