低压扩散花篮工装六轴搬运机构制造技术

本实用新型专利技术公开了低压扩散花篮工装六轴搬运机构，包括六轴机械手臂，六轴机械手臂一端固定安装有连接套筒，连接套筒的一端转动连接有拿取装置；拿取装置包括安装板，安装板转动连接于连接套筒的一端，安装板的一侧对称滑动连接有夹板，安装板的一侧安装有定位板，安装板的一侧对称固定连接有气缸，气缸的输出端传动连接有固定板，固定板的一侧设置连接有连接板，连接板的一侧设置有多个连接螺栓。本实用新型专利技术利用六轴机械手臂和拿取装置的配合使用，六轴机械手臂可以带动拿取装置在一定的空间内部移动，从而实现自动拿取搬运装有硅片的花篮，从而解放劳动力，提高其工作效率，进而提高其实用性能。高其实用性能。高其实用性能。

【技术实现步骤摘要】
低压扩散花篮工装六轴搬运机构


[0001]本技术涉及搬运机构领域，特别涉及低压扩散花篮工装六轴搬运机构。

技术介绍

[0002]硅片目前，在米粒大的硅片上，已能集成15.6万个晶体管，这是多学科协同努力的结晶，是科学技术进步 的又一个里程碑，微电子技术正在悄悄走进航空航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭，小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的，在对硅片原料加工使，无论是上料，还是下料，行业内一直以来都是人工搬运花篮，随着花篮工装高度越来越高，且自重已高达8公斤/个，频繁的搬运，都操作人员劳动强度是个严重的考验，导致客户端人员太累，流失严重，从而降低其实用性能。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供低压扩散花篮工装六轴搬运机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：低压扩散花篮工装六轴搬运机构，包括六轴机械手臂，所述六轴机械手臂一端固定安装有连接套筒，所述连接套筒的一端转动连接有拿取装置；
[0005]所述拿取装置包括安装板，所述安装板转动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.低压扩散花篮工装六轴搬运机构，包括六轴机械手臂（1），其特征在于，所述六轴机械手臂（1）一端固定安装有连接套筒（2），所述连接套筒（2）的一端转动连接有拿取装置（3）；所述拿取装置（3）包括安装板（31），所述安装板（31）转动连接于连接套筒（2）的一端，所述安装板（31）的一侧对称滑动连接有夹板（33），所述安装板（31）的一侧安装有定位板（39）。2.根据权利要求1所述的低压扩散花篮工装六轴搬运机构，其特征在于，所述安装板（31）的一侧对称固定连接有气缸（35），所述气缸（35）的输出端传动连接有固定板（37）。3.根据权利要求2所述的低压扩散花篮工装六轴搬运机构，其特征在于，所述固定板（37）的一侧设置连接有连接板（32），所述连接板（32）的一侧设置有多个连接螺栓，所述连接板（32）一侧的边侧通过连接螺栓与固定板（37）固定连接，所述连接板（32）一侧的另一边侧通过连接螺栓与夹板（33）固定连接。4.根据权利要求2所述的低压扩散花...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐雷达，
申请(专利权)人：江苏创生源智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：