【技术实现步骤摘要】
一种激光刻蚀三轴装置
[0001]本技术属于激光刻蚀设备领域，涉及一种三轴装置。
技术介绍
[0002]三轴装置的主要功能是在行程范围内，该装置可在X方向、Y方向、Z方向进行运动控制，以满足工艺需要的要求。
[0003]在实现本技术过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下技术问题中的一个问题：
[0004]就现目前的情况来看，市场上对于通过激光扫描增加导电银浆导通性的装置还比较少，大部分装置都是属于临时搭建，不具有三轴灵活扫描的特点。
[0005]对于一些其它用途的激光扫描器，也不具有三轴精确灵活控制等优点。
技术实现思路
[0006]鉴于此，本技术目的在于提供一种三轴精确灵活控制的三轴装置。
[0007]专利技术人通过长期的探索和尝试，以及多次的实验和努力，不断的改革创新，为解决以上技术问题，本技术提供的技术方案是，提供一种激光刻蚀三轴装置，包括安装于扫描平台上的横轴模块和竖轴模块，竖轴模块上安装有纵轴模块，所述纵轴模块通过第三传动机构与所述竖轴模块连接；所述横轴模块上安...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光刻蚀三轴装置，其特征在于，包括安装于扫描平台上的横轴模块和竖轴模块，竖轴模块上安装有纵轴模块，所述纵轴模块通过第三传动机构与所述竖轴模块连接；所述横轴模块上安装有载物工作台，所述载物工作台通过第一传动机构与横轴模块连接；所述纵轴模块上安装有激光发射器，所述激光发射器通过第二传动机构与所述纵轴模块连接。2.根据权利要求1所述的激光刻蚀三轴装置，其特征在于，所述第一传动机构为丝杠传动机构，所述第二传动机构为丝杠传动机构，第三传动机构为丝杠传动机构。3.根据权利要求2所述的激光刻蚀三轴装置，其特征在于，所述丝杠传动机构为滚珠丝杠。4.根据权利要求2所述的激光刻蚀三轴装置，其特征在于，所述丝杠传动机构包括丝杠轴和螺母；所述横轴模块包括第一支架，第一传动机构的丝杠轴通过轴承装配在第一支架上，所述载物工作台安装在第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：何毅，邓明旭，李琳，范圣福，龙冈，
申请(专利权)人：绵阳新能智造科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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