一种玻璃片取放料机构及单晶体硅片倒装加工机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种玻璃片取放料机构及单晶体硅片倒装加工机，所述玻璃片取放料机构包括有玻璃片横移驱动机构、玻璃片翻转机构和玻璃片吸板，所述玻璃片横移驱动机构固定于所述机台上，所述玻璃片翻转机构固定于所述玻璃片横移驱动机构的平移运动端，所述玻璃片吸板固定于所述玻璃片翻转机构的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构用于驱使所述玻璃片翻转机构运动以令所述玻璃片吸板进出所述玻璃片供料机构，所述玻璃片吸板用于吸取所述玻璃片供料机构内的玻璃片，所述玻璃片翻转机构用于驱使所述玻璃片吸板翻转180

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃片取放料机构及单晶体硅片倒装加工机


[0001]本技术涉及单晶体硅片加工设备，尤其涉及一种玻璃片取放料机构及单晶体硅片倒装加工机。

技术介绍

[0002]现有的单晶体硅片倒装工艺一般包括取放玻璃片、取放石墨纸、取放挡环以及取放成品工件等工艺流程。现有技术中，对于取放玻璃片的动作过程一般包括旋转、升降、平移等步骤，其中就依赖旋转机构、升降机构以及平移机构完成玻璃片拾取工作，上述组合机构的结构比较复杂，所涉及的动作较多，不仅效率低下，而且实现成本较高。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足，提供一种有助于简化动作流程，同时结构简单、成本低廉的玻璃片取放料机构。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案。
[0005]一种玻璃片取放料机构，所述玻璃片取放料机构包括有玻璃片横移驱动机构、玻璃片翻转机构和玻璃片吸板，所述玻璃片横移驱动机构固定于所述机台上，所述玻璃片翻转机构固定于所述玻璃片横移驱动机构的平移运动端，所述玻璃片吸板固定于所述玻璃片翻转机构的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构用于驱使所述玻璃片翻转机构运动以令所述玻璃片吸板进出所述玻璃片供料机构，所述玻璃片吸板用于吸取所述玻璃片供料机构内的玻璃片，所述玻璃片翻转机构用于驱使所述玻璃片吸板翻转180
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，进而将所述玻璃片放置于所述治具机构上。
[0006]优选地，所述玻璃片翻转机构的翻转运动端固定有翻转支板，所述玻璃片吸板的一端与所述翻转支板相互贴合且二者固定连接，所述玻璃片吸板的另一端向外延伸，所述翻转支板内开设有吸气通道，所述玻璃片吸板的表面开设有多条横纵交叉的气槽，所述气槽与所述吸气通道相互连通，借由所述气槽内产生的负压将所述玻璃片吸附于所述玻璃片吸板上。
[0007]优选地，还包括有玻璃片供料机构，所述玻璃片供料机构包括有玻璃片料框、玻璃片升降板以及玻璃片升降驱动机构，所述玻璃片升降驱动机构固定于所述机台上，所述玻璃片升降板固定于所述玻璃片升降驱动机构的升降运动端，所述玻璃片料框固定于所述玻璃片升降板上，所述玻璃片料框朝向所述玻璃片取放料机构的一侧形成有玻璃片取料口。
[0008]优选地，所述玻璃片料框包括有底板，所述底板的中间处形成有向下凹陷的凹口部，所述凹口部的两侧分别形成有斜坡部。
[0009]一种单晶体硅片倒装加工机，其包括有机台，所述机台上设有治具机构、玻璃片供料机构、玻璃片取放料机构、石墨纸供料机构、石墨纸取放料机构、挡环供料机构、挡环与成品取放料机构和成品集料机构，所述玻璃片取放料机构、所述石墨纸取放料机构和所述挡环与成品取放料机构呈“品”形分布于所述治具机构的周围，所述玻璃片供料机构与所述玻
璃片取放料机构相邻设置，所述石墨纸供料机构和所述石墨纸取放料机构相邻设置，所述挡环供料机构和所述成品集料机构分别与挡环与成品取放料机构相邻设置，所述玻璃片取放料机构包括有玻璃片横移驱动机构、玻璃片翻转机构和玻璃片吸板，所述玻璃片横移驱动机构固定于所述机台上，所述玻璃片翻转机构固定于所述玻璃片横移驱动机构的平移运动端，所述玻璃片吸板固定于所述玻璃片翻转机构的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构用于驱使所述玻璃片翻转机构运动以令所述玻璃片吸板进出所述玻璃片供料机构，所述玻璃片吸板用于吸取所述玻璃片供料机构内的玻璃片，所述玻璃片翻转机构用于驱使所述玻璃片吸板翻转180
°
，进而将所述玻璃片放置于所述治具机构上。
[0010]本技术公开的玻璃片取放料机构中，在所述玻璃片横移驱动机构的作用下，可驱使所述玻璃片翻转机构和所述玻璃片吸板平移，直至所述玻璃片吸板靠近待取料的玻璃片表面，同时在所述玻璃片吸板的负压作用下，将玻璃片吸附于所述玻璃片吸板上，然后所述玻璃片横移驱动机构驱使所述玻璃片翻转机构和所述玻璃片吸板反向平移，再利用所述玻璃片翻转机构带动所述玻璃片吸板翻转180
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，从而将所述玻璃片放置于预设的治具机构上，从而实现玻璃片的取放料功能。基于上述原理可见，本技术只需在所述玻璃片横移驱动机构和所述玻璃片翻转机构的配合作用下即可完成对玻璃片的取放料功能，这种翻转上料机构不仅结构简单，而且取放料速度较快，有助于简化动作步骤以及提高生产效率。
附图说明
[0011]图1为本技术单晶体硅片倒装设备的立体图；
[0012]图2为本技术单晶体硅片倒装设备的俯视图；
[0013]图3为玻璃片供料机构的结构图；
[0014]图4为玻璃片取放料机构的结构图；
[0015]图5为玻璃片取放料机构的局部分解图；
[0016]图6为治具机构的结构图一；
[0017]图7为治具机构的结构图二；
[0018]图8为石墨纸供料机构的结构图；
[0019]图9为石墨纸取放料机构的结构图；
[0020]图10为挡环与成品取放料机构的结构图；
[0021]图11为挡环供料机构的结构图；
[0022]图12为成品集料机构的结构图。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和实施例对本技术作更加详细的描述。
[0024]实施例一
[0025]本实施例提出了一种玻璃片取放料机构，结合图4和图5所示，所述玻璃片取放料机构4包括有玻璃片横移驱动机构40、玻璃片翻转机构41和玻璃片吸板42，所述玻璃片横移驱动机构40固定于所述机台1上，所述玻璃片翻转机构41固定于所述玻璃片横移驱动机构40的平移运动端，所述玻璃片吸板42固定于所述玻璃片翻转机构41的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构40用于驱使所述玻璃片翻转机构41运动以令所述玻璃片吸板42进出所
述玻璃片供料机构3，所述玻璃片吸板42用于吸取所述玻璃片供料机构3内的玻璃片100，所述玻璃片翻转机构41用于驱使所述玻璃片吸板42翻转180
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，进而将所述玻璃片100放置于所述治具机构2上。
[0026]上述结构中，在所述玻璃片横移驱动机构40的作用下，可驱使所述玻璃片翻转机构41和所述玻璃片吸板42平移，直至所述玻璃片吸板42靠近待取料的玻璃片表面，同时在所述玻璃片吸板42的负压作用下，将玻璃片100吸附于所述玻璃片吸板42上，然后所述玻璃片横移驱动机构40驱使所述玻璃片翻转机构41和所述玻璃片吸板42反向平移，再利用所述玻璃片翻转机构41带动所述玻璃片吸板42翻转180
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，从而将所述玻璃片100放置于预设的治具机构上，从而实现玻璃片100的取放料功能。基于上述原理可见，本技术只需在所述玻璃片横移驱动机构40和所述玻璃片翻转机构41的配合作用下即可完成对玻璃片100的取放料功能，这种翻转上料机构不仅结构简单，而且取放料速度较快，有助于简化动作步骤以及提高生产效率。
[0027]作为一种优选方式，所述玻璃片翻转机构41的翻转运动端固定有翻转支板43，所述玻璃片吸板42的一端与所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种玻璃片取放料机构，其特征在于，所述玻璃片取放料机构(4)包括有玻璃片横移驱动机构(40)、玻璃片翻转机构(41)和玻璃片吸板(42)，所述玻璃片横移驱动机构(40)固定于机台(1)上，所述玻璃片翻转机构(41)固定于所述玻璃片横移驱动机构(40)的平移运动端，所述玻璃片吸板(42)固定于所述玻璃片翻转机构(41)的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构(40)用于驱使所述玻璃片翻转机构(41)运动以令所述玻璃片吸板(42)进出所述玻璃片供料机构(3)，所述玻璃片吸板(42)用于吸取所述玻璃片供料机构(3)内的玻璃片(100)，所述玻璃片翻转机构(41)用于驱使所述玻璃片吸板(42)翻转180
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，进而将所述玻璃片(100)放置于治具机构(2)上。2.如权利要求1所述的玻璃片取放料机构，其特征在于，所述玻璃片翻转机构(41)的翻转运动端固定有翻转支板(43)，所述玻璃片吸板(42)的一端与所述翻转支板(43)相互贴合且二者固定连接，所述玻璃片吸板(42)的另一端向外延伸，所述翻转支板(43)内开设有吸气通道，所述玻璃片吸板(42)的表面开设有多条横纵交叉的气槽(420)，所述气槽(420)与所述吸气通道相互连通，借由所述气槽(420)内产生的负压将所述玻璃片(100)吸附于所述玻璃片吸板(42)上。3.如权利要求1所述的玻璃片取放料机构，其特征在于，还包括有玻璃片供料机构(3)，所述玻璃片供料机构(3)包括有玻璃片料框(30)、玻璃片升降板(31)以及玻璃片升降驱动机构(32)，所述玻璃片升降驱动机构(32)固定于所述机台(1)上，所述玻璃片升降板(31)固定于所述玻璃片升降驱动机构(32)的升降运动端，所述玻璃片料框(30)固定于所述玻璃片升降板(31)上，所述玻璃片料框(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴繁，孙会东，
申请(专利权)人：科尔迅智能科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：