【技术实现步骤摘要】
窄带选择性超表面辐射器及其制造方法
[0001]本公开涉及光伏电池
，尤其涉及一种窄带选择性超表面辐射器及其制造方法。
技术介绍
[0002]随着时代进步以及城市现代化建设步伐的不断加快，人民生活水平也提高了很多，但是对供电的需求越来越庞大，能源的供需矛盾愈发突出。在能源日渐枯竭、环境恶化的今天，发展绿色能源具有战略意义，我国也在大力发展可再生能源，坚持将“清洁低碳、绿色发展”放在重要位置，预计到2020年电能占终端能源消费比重要提升至27％。在过去的一个世纪里，如何通过可再生能源发电受到科学家广泛关注。太阳是人类最重要的热力学资源，太阳每天对地球的辐射能量是非常巨大的，因此在整个人类文明史上一直在积极的探索如何利用丰富的太阳能资源。经过许多代科学家的探索，人们已经可以将太阳能转换成各种形式的能量，比如常见的电能、热能等。光伏电池就是最普遍的将太阳能转换为电能的设备，但转化效率并不高，主要受限于到达地球表面太阳光谱的限制。而热光伏技术是解决这类问题的一个重要方法，主要是由于它可以利用的热源形式多种多样，如太阳能、化学能...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种窄带选择性超表面辐射器，包括：高温难熔金属基底；所述高温难熔金属基底的表面具有周期排列的孔状浅微腔；所述孔状浅微腔中具有高温难熔金属氧化物填充层。2.根据权利要求1所述的窄带选择性超表面辐射器，其特征在于：所述高温难熔金属包括钨、钼、钽和铌中的一种或几种的组合；所述高温难熔金属氧化物包括氧化铝、氧化铪和五氧化二钽中的一种或几种的组合。3.根据权利要求1所述的窄带选择性超表面辐射器，其特征在于：所述高温难熔金属基底的表面为平面和/或曲面；所述高温难熔金属基底的表面的粗糙度小于100nm，平整度小于5μm。4.根据权利要求1所述的窄带选择性超表面辐射器，其特征在于：所述浅微腔的内径不大于1μm，深度为50
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500nm。5.根据权利要求1所述的窄带选择性超表面辐射器，其特征在于：所述高温难熔金属氧化物填充层的厚度与所述孔状浅微腔的深度一致，误差不超过深度的1/10。6.权利要求1
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5任一项所述的窄带选择性超表面辐射器的制造方法，包括：以高温难熔金属作为基底，对高温难熔金属基底进行预处理，得到样片；对样片进行光刻胶涂布，然后使用双光束激光干涉光刻对经光刻胶涂布后的样片表面进行曝光处理，双光束激光干涉光刻的两次曝光成90
°
，在样片的表面得到圆柱形腔正方形列阵，得到曝光处理后的样片；对曝光处理后的样片表面进行光刻胶显影处理，得到显影处理后的样片；对显影处理后的样片进行离子束刻蚀，将圆柱形腔正方形列阵中的圆柱形腔刻蚀成浅微腔；使用电子束蒸发镀膜工艺在所述浅微腔中填充高温难熔金属氧化物；洗去残留的光刻胶，得到窄带选择性超表面辐射器。7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述预处理的步骤包括：在800
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【专利技术属性】
技术研发人员：詹耀辉，
申请(专利权)人：爱思菲尔光学科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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