穿刺机构制造技术

本申请提供了一种穿刺机构，包括：顶针，用于刺破蓝膜，以顶出蓝膜上的晶片；针座，用于支撑顶针；升降器，用于驱动针座升降移动，以带动顶针升降；以及支座；升降器安装于支座上。本申请提供的穿刺机构，通过设置顶针和升降器，升降器驱动针座升降移动，以带动顶针升降，进而使顶针靠近晶圆，并刺破蓝膜，以将晶片从蓝膜上剥离，以便吸嘴吸取晶片，无需较大的吸力，从而避免吸取晶片失败。而避免吸取晶片失败。而避免吸取晶片失败。

【技术实现步骤摘要】
穿刺机构


[0001]本申请属于固晶
，更具体地说，是涉及一种穿刺机构。

技术介绍

[0002]固晶机在固晶时，需要将晶圆上的晶片取出，以固定在基板上。由于晶圆上存在大量晶片，而这些晶片是贴于蓝膜上，并且相邻晶片之间存在相连部位，这就需要将蓝膜上的晶片分离，以取出固晶使用。当前一般使用顶针顶动蓝膜，使蓝膜扩张，而使蓝膜上相邻晶片分离开，再通过吸嘴吸取使用。然而这种结构，为了保护晶片，吸嘴的吸力往往较小，且由于蓝膜的吸附作用，取晶时，吸嘴有时会吸取不到晶片，即取晶失败，而影响固晶效率。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种穿刺机构，以解决现有技术中存在的在吸取蓝膜上晶片，有时会取晶失败，而影响固晶效率的问题。
[0004]为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种穿刺机构，包括：
[0005]顶针，用于刺破蓝膜，以顶出所述蓝膜上的晶片；
[0006]针座，用于支撑所述顶针；
[0007]升降器，用于驱动所述针座升降移动，以带动所述顶针升降；以及
[0008]支座；
[0009]所述升降器安装于所述支座上。
[0010]在一个可选实施例中，所述穿刺机构还包括用于调整所述顶针水平方向位置的平面移动模块，所述支座安装于所述平面移动模块上。
[0011]在一个可选实施例中，所述平面移动模块包括用于调整所述顶针横向位置的横向移动模组和用于调整所述顶针纵向位置的纵向移动模组，所述支座安装于所述横向移动模组上，所述横向移动模组安装于所述纵向移动模组上。
[0012]在一个可选实施例中，所述横向移动模组包括沿横向滑动安装于所述纵向移动模组上的横向滑座、与所述横向滑座相连的横向连杆和带动所述横向连杆横向移动的横移组件，所述支座安装于所述横向滑座上；所述纵向移动模组包括支板、沿纵向滑动安装于所述支板上的纵向滑座、与所述纵向滑座相连的纵向连杆和带动所述纵向连杆纵向移动的纵移组件，所述横向滑座沿横向滑动安装于所述纵向滑座上，所述横移组件安装于所述纵向滑座上。
[0013]在一个可选实施例中，所述横向连杆上开设有第一竖向槽，所述横移组件包括配合置于所述第一竖向槽中的第一偏心轮和驱动所述第一偏心轮转动的横移驱动电机，所述横移驱动电机与所述纵向滑座相连。
[0014]在一个可选实施例中，所述纵向连杆上开设有第二竖向槽，所述纵移组件包括配合置于所述第二竖向槽中的第二偏心轮和驱动所述第二偏心轮转动的纵移驱动电机，所述纵移驱动电机与所述支板相连。
[0015]在一个可选实施例中，所述穿刺机构还包括用于调整所述顶针高度位置的升降模块，所述平面移动模块安装于所述升降模块上。
[0016]在一个可选实施例中，所述穿刺机构还包括支撑臂，所述针座安装于所述支撑臂上，所述支撑臂与所述升降器相连。
[0017]在一个可选实施例中，所述支座上安装有滑轨，所述滑轨竖直设置，所述滑轨上滑动安装有滑动座，所述针座支撑于所述滑动座上，所述升降器与所述滑动座相连。
[0018]在一个可选实施例中，所述升降器为音圈电机，所述穿刺机构还包括弹性拉动所述滑动座的弹性件，所述弹性件的一端与所述滑动座相连，所述弹性件的另一端与所述支座相连。
[0019]本申请实施例提供的穿刺机构的有益效果在于：与现有技术相比，本申请实施例的穿刺机构，通过设置顶针和升降器，升降器驱动针座升降移动，以带动顶针升降，进而使顶针靠近晶圆，并刺破蓝膜，以将晶片从蓝膜上剥离，以便吸嘴吸取晶片，无需较大的吸力，从而避免吸取晶片失败。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本申请实施例提供的穿刺机构的结构示意图一；
[0022]图2为本申请实施例提供的穿刺机构的结构示意图二；
[0023]图3为本申请实施例提供的穿刺机构的爆炸结构示意图；
[0024]图4为本申请实施例提供的平面移动模块的结构示意图一；
[0025]图5为本申请实施例提供的平面移动模块的结构示意图二；
[0026]图6为本申请实施例提供的穿刺机构中部分结构的结构示意图。
[0027]其中，图中各附图主要标记：
[0028]100
‑
穿刺机构；
[0029]111
‑
顶针；112
‑
针座；113
‑
支撑臂；1131
‑
减重孔；114
‑
升降器；115
‑
支座；116
‑
滑轨；117
‑
滑动座；118
‑
弹性件；
[0030]120
‑
平面移动模块；121
‑
横向移动模组；1211
‑
横向滑座；1212
‑
横向连杆；12121
‑
第一竖向槽；1213
‑
横向导轨；1214
‑
横移组件；12141
‑
横移驱动电机；12142
‑
第一偏心轮；122
‑
纵向移动模组；1221
‑
支板；1222
‑
纵向滑座；1223
‑
纵向导轨；1224
‑
纵向连杆；12241
‑
第二竖向槽；1225
‑
纵移组件；12251
‑
纵移驱动电机；12252
‑
第二偏心轮；
[0031]130
‑
升降模块；131
‑
调节座；132
‑
安装座；133
‑
直线驱动器。
具体实施方式
[0032]为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0033]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0034]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种穿刺机构，其特征在于，包括：顶针，用于刺破蓝膜，以顶出所述蓝膜上的晶片；针座，用于支撑所述顶针；升降器，用于驱动所述针座升降移动，以带动所述顶针升降；以及支座；所述升降器安装于所述支座上。2.如权利要求1所述的穿刺机构，其特征在于：所述穿刺机构还包括用于调整所述顶针水平方向位置的平面移动模块，所述支座安装于所述平面移动模块上。3.如权利要求2所述的穿刺机构，其特征在于：所述平面移动模块包括用于调整所述顶针横向位置的横向移动模组和用于调整所述顶针纵向位置的纵向移动模组，所述支座安装于所述横向移动模组上，所述横向移动模组安装于所述纵向移动模组上。4.如权利要求3所述的穿刺机构，其特征在于：所述横向移动模组包括沿横向滑动安装于所述纵向移动模组上的横向滑座、与所述横向滑座相连的横向连杆和带动所述横向连杆横向移动的横移组件，所述支座安装于所述横向滑座上；所述纵向移动模组包括支板、沿纵向滑动安装于所述支板上的纵向滑座、与所述纵向滑座相连的纵向连杆和带动所述纵向连杆纵向移动的纵移组件，所述横向滑座沿横向滑动安装于所述纵向滑座上，所述横移组件安装于所述纵向滑座上。5.如权利要求4所述的穿刺机构，其特征在于：所述横向连杆上开设有第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄岗，曾国鹏，严楚雄，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：