一种结合微流控技术的巨磁阻传感器及其制造方法与应用技术

本发明专利技术公开一种结合微流控技术的巨磁阻传感器及其制造方法与应用，自上而下包括上盖、光刻胶层和巨磁阻芯片底片，上盖设有流体入口和流体出口，光刻胶层包括第一光刻胶层和第二光刻胶层，第二光刻胶层设置在第一光刻胶层内部，且第一光刻胶层与第二光刻胶层之间形成环形镂空，环形镂空内设有粘胶，第二光刻胶层上设有两个通孔，两个通孔之间连通形成检测区，流体入口和流体出口分别与两个通孔中心对齐且半径相等，巨磁阻芯片底片位于检测区的上表面设有巨磁阻芯片阵列，巨磁阻芯片阵列包括若干巨磁阻芯片，巨磁阻芯片为多层膜结构，且上表面固定待测抗原的捕获抗体。本发明专利技术提高了检测灵敏度，且便携性好，更加经济实用，应用前景广泛。景广泛。景广泛。

【技术实现步骤摘要】
一种结合微流控技术的巨磁阻传感器及其制造方法与应用


[0001]本专利技术属于传感器和生物检测
，具体涉及一种结合微流控技术的巨磁阻传感器及其制造方法与应用。

技术介绍

[0002]在目前的恶性肿瘤诊断与治疗中通常依赖侵入性的活组织检查和非侵入性的成像手段来追踪肿瘤的大小、扩增以及对治疗的响应。这种方法不仅会给患者带来创伤，价格昂贵，更重要的是不能实现早期诊断。影像学方法通过确定的占位性病变或明显的局部区域结构改变等物理特征来提示诊断。由于受制于空间分辨率，现有影像学方法难以检测微小病灶和实现前瞻性肿瘤防治。生物质谱技术是近年来迅速发展起来的一种鉴定生物大分子的技术。质谱技术在蛋白质组研究中主要用于蛋白质的鉴定，是蛋白质组学研究中的核心技术和重要工具，具有高灵敏度、高准确度、自动化等特点。然而，在多种肿瘤标志物的分子量非常接近的情况，通过质谱仪直接测量全段标志物分子的质量并不能实现可靠的分子识别。此外质谱检测出来的蛋白质还需要传统方法鉴定，小分子量标志物分子的检测难度大、敏感度较低和影响因素较多。常见的免疫生物分子识别方法是光或电生物信号本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种结合微流控技术的巨磁阻传感器，其特征在于：自上而下包括上盖（1）、光刻胶层（2）和巨磁阻芯片底片（3），所述上盖（1）设有流体入口（1
‑
1）和流体出口（1
‑
2），所述光刻胶层（2）包括第一光刻胶层（2
‑
1）和第二光刻胶层（2
‑
2），所述第二光刻胶层（2
‑
2）设置在第一光刻胶层（2
‑
1）内部，且第一光刻胶层（2
‑
1）与第二光刻胶层（2
‑
2）之间形成环形镂空（2
‑
3），所述环形镂空（2
‑
3）内设有粘胶，所述第二光刻胶层（2
‑
2）上设有两个通孔，两个通孔之间连通形成检测区（2
‑
4），所述流体入口（1
‑
1）和流体出口（1
‑
2）分别与两个通孔中心对齐且半径相等，所述巨磁阻芯片底片（3）位于检测区（2
‑
4）的上表面设有巨磁阻芯片阵列，所述巨磁阻芯片阵列包括若干巨磁阻芯片（3
‑
1），所述巨磁阻芯片（3
‑
1）为多层膜结构，且上表面固定待测抗原的捕获抗体。2.一种基于权利要求1所述的结合微流控技术的巨磁阻传感器的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、采用磁控溅射技术制造巨磁阻芯片多层膜结构，得到晶圆，具体过程为：采用磁控溅射技术在硅晶片上依次沉积Ta、NiFeCr、PtMn、CoFe、Ru、CoFe、纳米氧化物层NOL、CoFe、Cu、CoFe、NiFe、Cu和Ta，且厚度依次为1.5nm、3nm、12nm、1.8nm、0.85nm、1nm...

【专利技术属性】
技术研发人员：章伟，王欣，胡雪峰，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：