一种阵列基板检测设备制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种阵列基板检测设备，该设备包括：包括液晶盒模拟单元，液晶盒模拟单元朝向待检测阵列基板的一侧表面设置有至少一圈第一压力气槽和至少一圈第二压力气槽，第一压力气槽中的气压大于第二压力气槽中的气压；第一压力气槽和第二压力气槽均为中心对称图形，且对称中心与所述液晶盒模拟单元的中心重合。当压力气槽某处发生堵塞时，整个检测设备水平度、检测设备与待检测阵列基板的间隙大小及均匀性几乎不受影响，进而不影响检测结果，本实用新型专利技术实施例提供的阵列基板检测设备，既能够降低检测异常发生率，提升检测设备的使用寿命，还能提升阵列基板产品检测效率，更好的应对高阶产品需求。更好的应对高阶产品需求。更好的应对高阶产品需求。

【技术实现步骤摘要】
一种阵列基板检测设备


[0001]本技术实施例涉及液晶显示
，尤其涉及一种阵列基板检测设备。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，液晶显示器(LCD)广泛应用于电视机、电脑、手机等显示设备中。在LCD的制作过程中，需对其中的薄膜晶体管(TFT)阵列基板进行检测，检测其中是否存在缺陷，对LCD显示造成影响。
[0003]目前应用较多的阵列基板的检测方法为：在阵列基板检测设备中设置液晶盒模拟单元，液晶盒模拟单元模拟液晶的受电开关，阵列基板检测设备在阵列基板上不断平移和贴近，以确定阵列基板的透光情况，进而确定阵列基板是否存在显示缺陷。但利用上述方法对阵列基板进行检测时，对阵列基板检测设备的水平度及其与待检测阵列基板的间隙要求较高，其中，水平度一般要求在1.5μm之内，若水平度超过该数值，就会对检测结果造成影响；检测过程中，对阵列基板检测设备与待检测阵列基板之间间隙的精确控制，同样影响检测结果，一般需控制间隙在100μm，以确保检测结果的可靠性。
[0004]现有的阵列基板检测设备中，如图1所示，是通过在液晶盒模拟单元的周本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板检测设备，包括液晶盒模拟单元，所述液晶盒模拟单元用于模拟在待检测阵列基板的驱动下液晶盒的点亮过程，以检测所述待检测阵列基板的缺陷，其特征在于：所述液晶盒模拟单元朝向所述待检测阵列基板的一侧表面设置有至少一圈第一压力气槽和至少一圈第二压力气槽，所述第一压力气槽中的气压大于所述第二压力气槽中的气压；所述第一压力气槽和所述第二压力气槽均为中心对称图形，且对称中心与所述液晶盒模拟单元的中心重合。2.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备，其特征在于，还包括多个距离传感器，多个所述距离传感器围绕所述液晶盒模拟单元的中心两两对称分布；所述距离传感器用于测量所述液晶盒模拟单元不同位置处与所述待检测阵列基板之间的间距。3.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备，其特征在于，还包括第一压力计和第二压力计，所述第一压力计用于检测所述第一压力气槽的气压值，所述第二压力计用于检测所述第二压力气槽的气压值。4.根据权利要求3所述的阵列基板检测设备，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别与所述第一压力计和所述第二压力计电连接；所述控制器用于根据所述第一压力计和所述第二压力计检测的所述第一压力气槽和所述第二压力气槽的气压值，判断所述第一压力气槽和所述第二压力气槽的堵塞情况。5.根据权利要求4所述的阵列基板检测设备，其特征在于，还包括刮片，所述刮片与所述第一压力气槽和/或所述第二压力气槽滑动连接；所述刮片用于通过滑动清除所述第一压力气槽和/或所述第二压力气槽中的堵塞物。6.根据权利要求5所述的阵列基板检测设备，其特征在于，所述控制器与所述刮片...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪杰，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：