具有防护结构的镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种具有防护结构的镀膜装置，包括镀膜腔、磁悬浮组件和防护组件，磁悬浮组件和防护组件均设置于镀膜腔内，镀膜腔可为基板提供镀膜所需的环境。磁悬浮组件包括磁悬浮轨道和移动件，移动件设置于磁悬浮轨道的下方，与磁悬浮轨道相互作用实现磁悬浮，磁悬浮组件用于输送基板至镀膜位置。防护组件包括防护罩和防护板，防护罩夹设于磁悬浮轨道和移动件之间，且罩设于移动件的上端，以此保护固定于移动件上的靶材免受从镀膜腔内壁上脱落的薄膜碎片污染，而防护板设置于防护罩的内壁靠近基板处，则可避免靶材粒子飞溅沉积于移动件上。该具有防护结构的镀膜装置能够有效阻挡沉积的薄膜脱落对基板造成的污染，提高基板的镀膜质量。镀膜质量。镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】
具有防护结构的镀膜装置


[0001]本技术涉及镀膜加工
，尤其涉及一种具有防护结构的镀膜装置。

技术介绍

[0002]在真空环境中，利用高能离子轰击靶材，使得靶材飞溅出粒子并沉积于基板上形成薄膜，称为真空溅射镀膜，这是显示面板制造过程的重要一环。现有技术存在以下缺陷：在镀膜过程中，靶材和基板都位于镀膜腔内，因此被轰击飞溅出的靶材粒子不仅会沉积于基板上形成薄膜，还会飞溅至镀膜腔的内壁上并沉积成膜，但是内壁表面的薄膜累积至一定程度后会脱落，碎片在脱落的过程中则有可能会落到需要镀膜的基板上，从而增加显示面板的暗点，导致显示面板不良率增加。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：提供一种具有防护结构的镀膜装置，能够有效阻挡沉积的薄膜脱落对基板造成的污染，提高基板的镀膜质量。
[0004]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供一种具有防护结构的镀膜装置，包括：
[0006]镀膜腔，靶材和基板均设置于所述镀膜腔内；
[0007]磁悬浮组件，设置于所述镀膜腔内，所述磁悬浮组件包括磁悬浮本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜腔，靶材和基板均设置于所述镀膜腔内；磁悬浮组件，设置于所述镀膜腔内，所述磁悬浮组件包括磁悬浮轨道和移动件，所述移动件设置于所述磁悬浮轨道的下方，与所述磁悬浮轨道相互作用实现磁悬浮，所述磁悬浮组件用于输送所述基板至镀膜位置，所述基板固定于所述移动件上；防护组件，设置于所述镀膜腔内且与所述靶材的位置相对固定，所述防护组件包括防护罩和防护板，所述防护罩位于所述磁悬浮轨道的下方，所述防护罩罩设于所述移动件的上端且避让所述基板设置，所述防护板设置于所述防护罩的内壁靠近所述基板处。2.根据权利要求1所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护罩沿所述移动件的移动方向的两端为敞口结构。3.根据权利要求1所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护罩垂直于所述移动件的移动方向的截面为矩形结构。4.根据权利要求1所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护罩至少外侧壁朝向所述移动件凹陷设置有凹部。5.根据权利要求1至4任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金珉九，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：