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本实用新型公开一种具有防护结构的镀膜装置，包括镀膜腔、磁悬浮组件和防护组件，磁悬浮组件和防护组件均设置于镀膜腔内，镀膜腔可为基板提供镀膜所需的环境。磁悬浮组件包括磁悬浮轨道和移动件，移动件设置于磁悬浮轨道的下方，与磁悬浮轨道相互作用实现磁悬...
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