一种芯片烘烤全自动监控方法及设备技术

本发明专利技术涉及监控装置技术领域，具体涉及一种芯片烘烤全自动监控方法及设备，包括烘烤机构和监控机构；烘烤机构包括烘箱、箱门、驱动组件、连接组件和托盘，监控机构包括转轴、皮带、圆环、凸块、第一齿条、安装壳和监控模块，驱动组件驱动皮带带动转轴转动，转轴转动时带动圆环上的凸块转动，凸块转动时驱动第一齿条带动安装壳内的监控模块滑出烘箱，在驱动组件驱动皮带转动的同时，驱动连接组件带动托盘滑出烘箱内侧壁，当托盘上的芯片滑出烘箱内时，安装壳内的监控模块的数据采集端完全显露，即可对托盘上的芯片进行数据采集，解决托盘和监控模块需要单独配置驱动组件驱动移动，增加了生产成本的问题。成本的问题。成本的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片烘烤全自动监控方法及设备


[0001]本专利技术涉及监控装置
，尤其涉及一种芯片烘烤全自动监控方法及设备。

技术介绍

[0002]内存芯片在生产过程中需要经过多个工站的烘烤作业，每个工站的烘烤参数不同，良好的烘烤监控是产品质量的重要保证，为此需要芯片烘烤监控设备对芯片烘烤的烘烤质量进行监控。
[0003]目前，现有的芯片烘烤监控设备工作时，将烘箱内的驱动组件驱动托盘带动烘烤完成的芯片从烘箱内滑出，芯片烘烤监控设备的驱动组件驱动监控模块移动到托盘正上方对芯片进行数据采集，烘箱和芯片烘烤监控设备是独立工作，因此需要两个驱动组件分别对托盘和监控模块进行驱动移动，增加了生产成本。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种芯片烘烤全自动监控方法及设备，旨在解决托盘和监控模块需要单独配置驱动组件驱动移动，增加了生产成本的问题。
[0005]为实现上述目的，第一方面，本专利技术提供了一种芯片烘烤全自动监控设备，包括烘烤机构和监控机构；
[0006]所述烘烤机构包括烘箱、箱门、驱动组件、连接组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片烘烤全自动监控设备，其特征在于，包括烘烤机构和监控机构；所述烘烤机构包括烘箱、箱门、驱动组件、连接组件和托盘，所述箱门与所述烘箱转动连接，并位于所述烘箱的一侧，所述驱动组件设置于所述烘箱内侧壁，所述连接组件设置于所述驱动组件的一侧，所述托盘与所述连接组件固定连接，并与所述烘箱滑动连接，并位于所述烘箱内；所述监控机构包括转轴、皮带、圆环、凸块、第一齿条、安装壳和监控模块，所述转轴与所述烘箱转动连接，并位于所述烘箱内侧壁，所述皮带套设于所述驱动组件和所述转轴外侧壁，所述圆环与所述转轴固定连接，并位于所述转轴四周，所述凸块与所述圆环固定连接，并位于所述圆环外侧壁，所述第一齿条与所述烘箱滑动连接，并与所述凸块啮合，所述安装壳与所述第一齿条固定连接，并与所述烘箱滑动连接，并位于远离所述凸块的一侧，所述监控模块设置于所述安装壳内。2.如权利要求1所述的芯片烘烤全自动监控设备，其特征在于，所述驱动组件包括电机和驱动杆，所述电机与所述烘箱固定连接，并位于所述烘箱底部，所述驱动杆与所述电机输出端固定连接，并贯穿所述烘箱，所述皮带套设于所述驱动杆和所述转轴外侧壁。3.如权利要求2所述的芯片烘烤全自动监控设备，其特征在于，所述连接组件包括齿轮和第二齿条，所述齿轮与所述驱动杆固定连接，并位于所述驱动杆四周，所述第二齿条的一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：屈显波，谈勇，王波，
申请(专利权)人：桂林芯飞光电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：