下载一种芯片烘烤全自动监控方法及设备的技术资料

文档序号:33444522

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本发明涉及监控装置技术领域,具体涉及一种芯片烘烤全自动监控方法及设备,包括烘烤机构和监控机构;烘烤机构包括烘箱、箱门、驱动组件、连接组件和托盘,监控机构包括转轴、皮带、圆环、凸块、第一齿条、安装壳和监控模块,驱动组件驱动皮带带动转轴转动,转...
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