一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法，属于光电探测器件制造技术领域。该激光探测器包括衬底和沉积在衬底上的氧化钛薄膜，所述氧化钛薄膜为四方金红石型晶体结构，厚度为200~300nm，厚度延伸方向与衬底的倾斜方向的夹角为5~15

【技术实现步骤摘要】
一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法
[0001]

[0002]本专利技术属于光电探测器件制造
，具体涉及一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法。
[0003]
技术介绍

[0004]自从人们在倾斜衬底上生长的钙钛矿结构的高温超导YBa2Cu3O7‑
δ(YBCO)材料的薄膜中发现了激光感生电压效应，一些复杂的多元素氧化膜，如La1‑
x
Sr
x
MnO
3 (LSMO)、La
0.7
(Ca1‑
x
Sr
x
)
0.3
MnO3、La2‑
x
Sr
x
NiO4等被用于研究这一效应，以期寻找适用于多波段、快响应、高灵敏度的激光探测材料。然而，这些多元复杂氧化物薄膜，在紫外强激光作用下，或多或少存在被选择溅射的问题，从而影响探测精度，因此探测元件的强激光辐照损伤问题一直是阻碍探测器发展的制约因素。
[0005]
技术实现思路

[0006]解决的技术问题：针对上述技术问题，本专利技术提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氧化钛薄膜激光探测器，其特征在于，包括衬底和沉积在衬底上的氧化钛薄膜，所述氧化钛薄膜为四方金红石型晶体结构，厚度为200~300nm，厚度延伸方向与衬底的倾斜方向的夹角为5~15
°
。2.根据权利要求1所述的一种氧化钛薄膜激光探测器，其特征在于，所述衬底为A12O
3 (0001)衬底，其晶向与衬底平面法向夹角为5~15度。3.权利要求1所述的一种氧化钛薄膜激光探测器的制备方法，其特征在于，包括步骤如下：S1：采用固相法合成金红石结构的TiO2多晶靶材；S2：采用脉冲激光沉积法将TiO2薄膜沉积在衬底上，衬底温度为350~800℃，氧压为0.005~0.5Pa，沉积时间为8~16min；S3：将TiO2薄膜进行原位退火，退火温度为350~800℃，退火时间为30~60min，退火氧压为...

【专利技术属性】
技术研发人员：周小红，周小芳，余乐平，路露，徐律，
申请(专利权)人：无锡商业职业技术学院，
类型：发明
国别省市：