一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法技术资料下载

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本发明公开了一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法，属于光电探测器件制造技术领域。该激光探测器包括衬底和沉积在衬底上的氧化钛薄膜，所述氧化钛薄膜为四方金红石型晶体结构，厚度为200~300nm，厚度延伸方向与衬底的倾斜方向的夹角为5~15该专利属于无锡商业职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过无锡商业职业技术学院授权不得商用。

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