一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，包括：机架、安装在所述机架上的蒸发罐、与所述蒸发罐相连通的除雾器、与所述除雾器相连通的冷凝单元、与所述冷凝单元连接的抽真空单元、设置在所述蒸发罐上的加热件；所述蒸发罐内设置有蒸发腔，所述蒸发腔内设置有旋转管，所述旋转管上设置有螺旋推进器；所述机架上设置有用于驱动所述旋转管旋转地旋转驱动装置，所述螺旋推进器与所述蒸发腔的内壁接触，且所述螺旋推进器上设置有若干导流孔。本实用新型专利技术可实现药水废液蒸发过程中的搅拌，药水废液可从螺旋推进器上的导流孔内翻越，而螺旋推进器与蒸发腔的发热面之间的液体呈现湍流，提高了蒸发罐内的热交换效率，从而提高蒸发效率。提高蒸发效率。提高蒸发效率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备


[0001]本技术涉及废液处理设备领域，尤其涉及一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备。

技术介绍

[0002]现有技术中，高污染性废液的处理方法为将液体储存到储存化学药物的大罐中埋入地下或采用统一化学法处理。目前，市场废液处理设备存在以下问题：1、虽具备烘干、真空的技术，但处理效率低，自动化程度不高；2、蒸发过程中的热交换效率低，导致蒸发浓缩的效率低，且无法实现蒸发后残渣的自动推送，影响蒸馏的液的收集；3、设备内在多次干燥使用后，内壁上会存在水垢，难以去除。
[0003]因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，解决现有技术中，药水废液蒸发效率低，自动化程度低的问题；同时解决蒸发罐内壁上水垢难以去除的问题。
[0005]本技术的技术方案如下：一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，包括：机架、安装在所述机架上的蒸发罐、与所述蒸发罐相连通的除雾器、与所述除雾器相连通的冷凝单元、与所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，包括：机架、安装在所述机架上的蒸发罐、与所述蒸发罐相连通的除雾器、与所述除雾器相连通的冷凝单元、与所述冷凝单元连接的抽真空单元、设置在所述蒸发罐上的加热件；所述蒸发罐内设置有蒸发腔，所述蒸发腔内设置有旋转管，所述旋转管上设置有螺旋推进器；所述机架上设置有用于驱动所述旋转管旋转地旋转驱动装置，所述螺旋推进器与所述蒸发腔的内壁接触，且所述螺旋推进器上设置有若干导流孔。2.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，还包括：安装在所述机架上的积水槽、与所述积水槽连接的排水泵，所述积水槽通过管道与所述抽真空单元连接。3.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述螺旋推进器包括：螺旋固定板、设置在所述螺旋固定板上的若干桨叶，所述桨叶的一端与所述螺旋固定板连接，另一端与所述旋转管连接，所述导流孔设置在相邻两桨叶之间。4.根据权利要求2所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述蒸发罐的一端上设置有观察窗，所述蒸发罐的出料端设置有排渣组件。5.根据权利要求4所述的一种真空蒸发半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡青，徐杰，李哲轩，
申请(专利权)人：迈达微深圳半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：