差速不等待机构制造技术

本实用新型专利技术公开了差速不等待机构，包括转轴(1)、与所述转轴(1)同轴设置且固定配合的同步带轮(3)、与所述转轴(1)转动配合的传动轮(2)、安装在所述传动轮(2)上的棘爪机构、及与所述转轴(1)同轴布置且固定配合的棘轮(6)，所述棘轮(6)与所述棘爪机构的棘爪(4)相啮合。本实用新型专利技术提供的差速不等待机构，便于差速传送中的过渡切换，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
差速不等待机构


[0001]本技术涉及传送设备
，特别涉及一种差速不等待机构。

技术介绍

[0002]溅射是利用荷能粒子轰击固体靶材，使靶材原子或分子被溅射出来并沉积到衬底表面的一种工艺。
[0003]现有技术中，在溅镀室内设有多个传送机构，以将载具由来料端传送至溅射区，以便于进行溅射工艺。如图1所示，原有机构中，1#位置左侧为来料方向，3#位置右侧为溅镀区；1#位置以4
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0米/分钟的恒定速度转动，2#位置以1.0或4.0米/分钟的恒定速度转动，3#位置以1.0米/分钟的恒定速度转动；同一个载具不能同时在两种速度的传动轮上，接触载具较少的一种速度的传动上上载具会打滑，这种情况会引起框架抖动，从而导致载具上的产品掉落摔坏。如图2所示，传送机构包括转轴100、与转轴100同轴布置且固定连接的传动轮200、及与转轴100同轴布置且固定连接的同步带轮300，同步带轮300经由同步带与电机动力输出端的主动轮传动连接，从而主动轮经同步带带动，进而带动传动轮200转动以传输其上的载具。
[0004]如图3(a)
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3(c)所示，分析运动过程后可以得知，载具B从状态1到状态2，1#位置/2#位置以4.0米/分钟的速度转动，走完1#位置到2#位置全程2米需耗时2(m)/4.0(m/min)＝0.5min，在这0.5分钟内，载具A在3#位置向左移动了0.5米；此时2#位置速度变更为1.0米/分钟，载具B在距离载具A0.5米处一直尾随进入溅镀区；待载具B到达3#位置后重复状态1到状态3的过程。
[0005]经过计算，状态2时待载具B如需赶上载具A，需要再以4.0米/分钟的速度往3#位置方向再移动1/6分钟，赶上后，载具B下方有4.0米/分钟传动轮三个，1.0米/分钟传动轮两个，载具会在3#位置处打滑。影响载具的传送，导致溅射工艺的顺利进行。

技术实现思路

[0006]本技术目的是提供一种差速不等待机构，提高生产效率和产品质量。
[0007]基于上述问题，本技术提供的技术方案是：
[0008]差速不等待机构，包括转轴、与所述转轴同轴设置且固定配合的同步带轮、与所述转轴转动配合的传动轮、安装在所述传动轮上的棘爪机构、及与所述转轴同轴布置且固定配合的棘轮，所述棘轮与所述棘爪机构的棘爪相啮合。
[0009]在其中的一个实施例中，所述棘爪机构包括转动销接在所述传动轮轴向一侧的棘爪、及用于使所述棘爪与所述棘轮相啮合的弹性件。
[0010]在其中的一个实施例中，所述弹性件为拉簧，所述拉簧一端连接至所述棘爪且另一端连接至所述传动轮。
[0011]在其中的一个实施例中，所述棘轮与所述转轴键连接。
[0012]在其中的一个实施例中，所述棘轮轴向两端分别设有卡簧。
[0013]在其中的一个实施例中，所述传动轮经由第一轴承支承在所述转轴上。
[0014]在其中的一个实施例中，所述转轴经由第二轴承、第三轴承支承。
[0015]在其中的一个实施例中，所述同步带轮与所述转轴键连接，所述同步带轮安装在所述转轴的端部，所述转轴的端部固定有垫片且所述垫片与所述同步带轮轴向一端相抵接。
[0016]与现有技术相比，本技术的优点是：
[0017]当高速的载具传送至低速运转的转轴位置时，载具与传动轮相接触仍以高速运行，而低速的转轴相对于高度的传动轮往反方向转动，棘爪机构弹起，转轴与传动轮各自转动，从而载具由高速向低速切换时不容易打滑，可平稳地过渡到低速区，从而实现载具依次通过溅射区，解决了载具在溅镀室中由高速向低速切换时，无法依次通过，导致阴极溅射物直接溅射在阳极挡板上，增加阳极保养频率的问题，提升了溅镀效率，提高了靶材利用率。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为现有技术中溅镀室中传送机构的结构示意图；
[0020]图2为现有技术中传送机构的部分结构示意图；
[0021]图3(a)为现有技术中传送机构状态1的结构示意图；
[0022]图3(b)为现有技术中传送机构状态2的结构示意图；
[0023]图3(c)为现有技术中传送机构状态3的结构示意图；
[0024]图4为本技术差速不等待机构实施例的结构示意图；
[0025]图5为本技术实施例另一个方向的结构示意图；
[0026]图6(a)为本技术实施例中传送机构状态1的结构示意图；
[0027]图6(b)为本技术实施例中传送机构状态2的结构示意图；
[0028]图6(c)为本技术实施例中传送机构状态3的结构示意图；
[0029]其中：
[0030]100、转轴200、传动轮300、同步带轮；
[0031]1、转轴；
[0032]2、传动轮；
[0033]3、同步带轮；
[0034]4、棘爪；
[0035]5、弹性件；
[0036]6、棘轮；
[0037]7、第一轴承；
[0038]8、第二轴承；
[0039]9、第三轴承；
[0040]10、垫片。
具体实施方式
[0041]以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本技术而不限于限制本技术的范围。实施例中采用的实施条件可以根据具体厂家的条件做进一步调整，未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。
[0042]参见图4
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5，为本技术实施例的结构示意图，提供一种差速不等待机构，包括转轴1、与转轴1同轴设置且固定配合的同步带轮3、与转轴1转动配合的传动轮2、安装在传动轮2上的棘爪机构、及与转轴1同轴布置且固定配合的棘轮6，棘轮6与棘爪机构的棘爪4相啮合。
[0043]其中，棘爪机构包括转动销接在传动轮2轴向一侧的棘爪4、及用于使棘爪4与棘轮6相啮合的弹性件5。具体的，弹性件5为拉簧，拉簧的一端连接至棘爪4且另一端连接至传动轮2，以给棘爪4向轴心的拉力，从而棘爪4可与棘轮6相啮合。
[0044]本例中，棘轮6与转轴1键连接，同时在棘轮6轴向两端分别设置卡簧以将棘轮6限位在转轴1上。
[0045]本例中，传动轮2经由第一轴承7支承在转轴1上，从而传动轮2与转轴1转动配合。转轴1经由第二轴承8、第三轴承9支承在支架上，同步带轮3与转轴1键连接，同步带轮3安装在转轴1的端部，转轴1的端部固定有垫片10且垫片10与同步带轮3轴向一端相抵接。
[0046]参见图6(a)
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6(c)，在状态2中，载具B未接触到任何一个位于位置3#上的传动轮时，轴以1.0米/分钟转速转动，棘爪本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.差速不等待机构，其特征在于：包括转轴(1)、与所述转轴(1)同轴设置且固定配合的同步带轮(3)、与所述转轴(1)转动配合的传动轮(2)、安装在所述传动轮(2)上的棘爪机构、及与所述转轴(1)同轴布置且固定配合的棘轮(6)，所述棘轮(6)与所述棘爪机构的棘爪(4)相啮合。2.根据权利要求1所述的差速不等待机构，其特征在于：所述棘爪机构包括转动销接在所述传动轮(2)轴向一侧的棘爪(4)、及用于使所述棘爪(4)与所述棘轮(6)相啮合的弹性件(5)。3.根据权利要求2所述的差速不等待机构，其特征在于：所述弹性件(5)为拉簧，所述拉簧一端连接至所述棘爪(4)且另一端连接至所述传动轮(2)。4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱安秋，
申请(专利权)人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：