【技术实现步骤摘要】
一种切割机构
[0001]本技术涉及多线切割
,尤其涉及一种切割机构。
技术介绍
[0002]多线切割技术是一种加工单晶硅等硬脆材料常见的加工方式,其原理是利用高速运动的切割线,该切割线表面附着有金刚石颗粒,在切割线的带动下,金刚石颗粒用于对待切割材料进行摩擦,从而达到切割的目的。
[0003]目前,在切割的过程中,通过将切割线缠绕后形成的线网,对在下降或上升工作台上的硅棒实现进给,完成硅片的切割。
[0004]随着硅片尺寸的逐步增大,且随着切割线细线化要求逐渐提高,传统的直下式切割在大硅片切割中暴露出加工速率慢,切割困难,容易发生断线等问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供,以提供一种切割速率快,且不容易发生断线的切割机构。
[0006]本技术提供的一种切割机构,包括第一驱动组件、第二驱动组件以及摇摆连接组件;第一驱动组件与摇摆连接组件的一侧驱动连接,用于向摇摆连接组件的一侧提供第一驱动力;第二驱动组件与摇摆连接组件的另一侧驱动连接,用于向摇摆连接组件的另一侧提供第 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种切割机构,其特征在于,包括第一驱动组件、第二驱动组件以及摇摆连接组件;所述第一驱动组件与所述摇摆连接组件的一侧驱动连接,用于向所述摇摆连接组件的一侧提供第一驱动力;所述第二驱动组件与所述摇摆连接组件的另一侧驱动连接,用于向所述所述摇摆连接组件的另一侧提供第二驱动力;其中,所述第一驱动力和所述第二驱动力为相反方向的驱动力;待切割工件安装在所述摇摆连接组件上,在所述第一驱动力和所述第二驱动力的驱动下,所述待切割工件做摇摆运动。2.根据权利要求1所述的切割机构,其特征在于,所述第一驱动组件包括第一驱动件、以及与所述第一驱动件驱动连接的第一传动组件;所述第一传动组件与所述摇摆连接组件的一侧连接;所述第二驱动组件包括第二驱动件、以及与所述第二驱动件驱动连接的第二传动组件;所述第二传动组件与所述摇摆连接组件的另一侧连接。3.根据权利要求2所述的切割机构,其特征在于,所述第一传动组件包括第一旋转件和第一直线传动件;所述第一驱动组件还包括第一减速件,所述第一驱动件的输出端与所述第一减速件的输入端驱动连接,所述第一减速件的输出端与所述第一旋转件驱动连接,用于驱动所述第一旋转件转动;所述第一直线传动件与所述第一旋转件相配合,当所述第一旋转件转动时,所述第一直线传动件沿与所述所述第一旋转件的轴向平行的方向做第一直线运动;所述第二传动组件包括第二旋转件和第二直线传动件;所述第二驱动组件还包括第二减速件,所述第二驱动件的输出端与所述第二减速件的输入端驱动连接,所述第二减速件的输出端与所述第二旋转件连接,用于驱动所述第二旋转件转动;所述第二直线传动件与所述第二旋转件相配合,当所述第二旋转件转动时,所述第二直线传动件沿与所述第二旋转件的轴向平行的方向做第二直线运动;其中,所述第一直线运动和所述第二直线运动的运动方向相反。4.根据权利要求3所述的切割机构,其特征在于,所述第一旋转件为丝母,所述第一直线传动件为丝杠,所述第一传动组件还包括第一套筒,所述第一驱动组件还包括第一联轴器;所述第一减速件的输出端通过所述第一联轴器与所述第一套筒驱动连接,所述第一旋转件固定在所述第一套筒内,所述第一旋转件与所述第一直线传动件相配合;所述第二旋转件为丝母,所述第二直线传动件为丝杠,所述第二传动组件还包括第二套筒,所述第二驱动组件还包括第二联轴器;所述第二减速件的输出端通过所述第二联轴器与所述第二套筒驱动连接,所述第二旋转件固定在所述套筒内,所述第二旋转件与所述第二直线传动件相配合。5.根据权利要求4所述的切割机构,其特征在于,所述切割机构还包括安装底座、固定在所述安装底座上的第一固定支架和第二固定支架、与所述第一固定支架转动连接的第一转动头以及与所述第二固定支架转动连接的第二转动头;所述第一套筒通过转动轴承设置在所述第一转动头内,所述第二套筒通过转动轴承设
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【专利技术属性】
技术研发人员:贾勇杰,刘晓东,毛剑波,迪大明,管辉,成路,
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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