一种自动化靶材浸润装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种自动化靶材浸润装置，包括支撑主体、定位组件、钢刷打磨组件以及超声波振动组件，所述支撑主体与机器人的机械臂相连接，所述定位组件、所述钢刷打磨组件以及所述超声波振动组件分别设置在所述支撑主体的不同方向上；其中，所述钢刷打磨组件包括电机与所述电机带动下的钢刷本体，所述钢刷本体为圆形。本实用新型专利技术所述自动化靶材浸润装置可以在机械臂的带动下实现钢刷打磨以及超声波振动的自动化，不仅避免了人工操作，还可以达到靶材浸润处理的质量要求，并且在高效性、稳定性以及安全性上都有很大的优势；而且，进一步设定圆形钢刷本体以转动方式进行打磨，可以有效地提高熔化焊料的浸润效果。以有效地提高熔化焊料的浸润效果。以有效地提高熔化焊料的浸润效果。

【技术实现步骤摘要】
一种自动化靶材浸润装置


[0001]本技术属于靶材焊接
，尤其涉及一种自动化靶材浸润装置。

技术介绍

[0002]溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，一般被称为溅射靶材。
[0003]由于金属溅射靶材往往采用高纯的钼、铝、铜、钛、镍、钽等比较贵重的金属材料，且金属溅射靶材的强度不一，在实际应用过程中，需要将符合性能要求的溅射靶材和具有一定强度的背板结合制成靶材组件，然后安装在溅射机台上，在磁场、电场作用下有效地进行溅射控制。背板可以为溅射靶材提供支撑作用，并具有传导热量的功效，因此需要将溅射靶材和背板进行加工并焊接成型。由于靶材组件在溅射过程中的工作环境比较恶劣，往往存在高温、高压力差、高压电场、高压磁场等，如果靶材组件中靶材与背板之间的焊接结合率较低，将导致靶材在受热条件下变形、开裂、甚至从背板脱落，不但无法达到溅射均匀的效果，同时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动化靶材浸润装置，其特征在于，包括支撑主体、定位组件、钢刷打磨组件以及超声波振动组件，所述支撑主体与机器人的机械臂相连接，所述定位组件、所述钢刷打磨组件以及所述超声波振动组件安装在所述支撑主体上的不同方向上；其中，所述钢刷打磨组件包括电机与所述电机带动的钢刷本体，所述钢刷本体为圆形。2.根据权利要求1所述的自动化靶材浸润装置，其特征在于，所述自动化靶材浸润装置还包括焊料熔化液添加组件。3.根据权利要求2所述的自动化靶材浸润装置，其特征在于，所述焊料熔化液添加组件包括支架以及用于盛放焊料熔化液的容器，所述支架的一端安装在所述支撑主体上，另一端与所述容器相连接。4.根据权利要求1或2所述的自动化靶材浸润装置，其特征在于，所述电机与所述钢刷本体通过转动轴相连接。5.根据权利要求4所述的自动化靶材浸润装置，其特征在于，在所述转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，窦兴贤，王学泽，王青松，张慧友，
申请(专利权)人：合肥江丰电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：