【技术实现步骤摘要】
一种基于深紫外光斑位置探测的光斑测量与对准系统
[0001]本技术涉及光电探测
,尤其涉及一种基于深紫外光斑位置探测的光斑测量与对准系统。
技术介绍
[0002]紫外线探测系统在工业生产与生活中扮演着重要角色。特别是基于深紫外的光斑位置检测,由于其检测精度高、抗干扰能力强、虚警率低等优点,被广泛应用于火灾预警、UV光固化、PCB制造、精密工业检测及装配等领域。
[0003]由于自然的深紫外光几乎不存在于地球表面,所以就为基于深紫外探测的系统提供了一个天然的背景窗口。正因为此,科学家把目光聚焦到深紫外探测、深紫外通信等领域,由于在探测与通信的过程中需要知道光斑的具体位置,所以迫切的需要能够用于深紫外光斑位置探测装置。目前商用的深紫外四象限位置探测器主要是基于硅、氮化镓为主,这些器件需要借助庞大和昂贵的滤波系统才能实现深紫外光定位,这无疑增加了制备成本和器件体积,同时也降低了器件的灵敏性,制约了在工业和生活中的应用。
技术实现思路
[0004]为解决上述问题,提供一种基于深紫外光斑位置探测的光斑测量与对 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于深紫外光斑位置探测的光斑测量与对准系统,其特征在于:所述系统包括机械位移平台、设置在机械位移平台上的测量电路,所述测量电路包括依次连接的氧化镓四象限光电探测器、I
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V转换电路、电压放大电路、ADC电路、MCU和数码管显示电路,所述电压放大电路的输出还连接紫外线强度可视化电路,所述I
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V转换电路、电压放大电路、紫外线强度可视化电路和ADC电路均使用4组电路,每组电路检测氧化镓四象限光电探测器的一个象限。2.根据权利要求1所述的基于深紫外光斑位置探测的光斑测量与对准系统,其特征在于:所述氧化镓四象限光电探测器包括蓝宝石衬底,衬底的上端从下到上依次设置有氧化镓薄膜和弧形金叉指电极,所述氧化镓四象限光电探测器具有4个对称的光敏面,单个光敏面由15对弧形金叉指电极构成,电极宽度为100μm,电极间距为50μm;且四个象限之间的死区间距为200μm。3.根据权利要求1所述的基于深紫外光斑位置探测的光斑测量与对准系统,其特征在于:所述I
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V转换电路包括第一运算放大器(U2)、第三电阻(R3)、第五电容(C5)和第四电阻(R4),第四电阻(R4)的一端分别与输入接口(H1)、第三电阻(R3)、第五电容(C5)的一端连接,第四电阻(R4)的另一端连接第一运算放大器(U2)的
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