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一种基于深紫外光斑位置探测的光斑测量与对准系统，所述系统包括机械位移平台、设置在机械位移平台上的测量电路，所述测量电路包括依次连接的氧化镓四象限光电探测器、I
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该专利属于北京物资学院所有，仅供学习研究参考，未经过北京物资学院授权不得商用。

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