一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统，属于光刻胶技术领域，管路包括依次连接的氮气管(1)、光阻瓶(2)、回流瓶(3)和光阻喷头(4)，氮气管(1)连接在光阻瓶(2)上，光阻瓶(2)通过第一管道(5)与回流瓶(3)连接，回流瓶(3)通过第二管道(6)与光阻喷头(4)连接，第二管道(6)上设有回吸阀(7)，回吸阀(7)上连接有压缩空气阀(8)，氮气管(1)上设有氮气阀(11)，回流瓶(3)上设有排气管(9)，排气管(9)上设有排气阀(91)，该管路利用氮气加压实现自动喷涂，通过回吸组件确保喷胶时不产生气泡和胶滴落；系统实现全自动涂胶，提高工作效率，既能保证涂胶的均匀性又能节省材料。保证涂胶的均匀性又能节省材料。保证涂胶的均匀性又能节省材料。

【技术实现步骤摘要】
一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统


[0001]本技术涉及光刻胶
，尤其涉及一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统。

技术介绍

[0002]光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。
[0003]近年来，伴随着生产和技术的不断创新，传统涂胶工艺研发和生产都是依靠人手工来完成，待需要涂胶的晶圆固定在可旋转的工作台上，人工手动倒在所需涂胶晶圆上后工作台旋转。这种涂胶模式，工人劳动强度大，涂胶的效率极低，而且很难保证涂胶的均匀性和胶体厚度的一致性，涂胶精度低，影响晶圆与晶圆之间重复性且涂胶量也不稳定造成原材料浪费。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术中人工涂胶存在的问题，提供了一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统。
[0005]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0006]主要提供一种自动涂胶管路，所述管路包括依次连接的氮气管、光阻瓶、回流瓶和光阻喷头，所述氮气管连接在所述光阻瓶上，所述光阻瓶通过第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动涂胶管路，其特征在于，所述管路包括依次连接的氮气管(1)、光阻瓶(2)、回流瓶(3)和光阻喷头(4)，所述氮气管(1)连接在所述光阻瓶(2)上，所述光阻瓶(2)通过第一管道(5)与所述回流瓶(3)连接，所述回流瓶(3)通过第二管道(6)与所述光阻喷头(4)连接，所述第二管道(6)上设有回吸阀(7)，所述回吸阀(7)上连接有压缩空气阀(8)，所述氮气管(1)上设有氮气阀(11)，所述回流瓶(3)上设有排气管(9)，所述排气管(9)上设有排气阀(91)。2.根据权利要求1所述的一种自动涂胶管路，其特征在于，所述光阻瓶(2)为加仑光阻瓶。3.根据权利要求1所述的一种自动涂胶管路，其特征在于，所述压缩空气阀(8)、氮气阀(11)、回吸阀(7)和排气阀(91)均为电磁阀。4.一种自动涂胶系统，包括权利要求1
‑
3中任意一项所述的一种自动涂胶管路，其特征在于，所述系统还包括：用于控制光阻喷头(4)位置的驱动组件，所述驱动组件与所述光阻喷头(4)连接；用于检测待涂胶晶圆水平位置的传...

【专利技术属性】
技术研发人员：王旭东，
申请(专利权)人：成都海威华芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：