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本实用新型公开了一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统，属于光刻胶技术领域，管路包括依次连接的氮气管(1)、光阻瓶(2)、回流瓶(3)和光阻喷头(4)，氮气管(1)连接在光阻瓶(2)上，光阻瓶(2)通过第一管道(5)与回流瓶(3)连接，回流瓶(...
该专利属于成都海威华芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都海威华芯科技有限公司授权不得商用。

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