一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构制造技术

本发明专利技术公开了一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构，包括结构主体、晶圆、夹持机构与连接构件，所述连接构件一侧设置有连接杆，所述连接杆底端设置有气缸，所述气缸底端设置有伸缩杆，所述伸缩杆底端设有移动座，所述移动座内侧底部设有驱动机构，所述驱动机构的输出端传动连接有传动轴，且所述传动轴末端连接有转动环，所述转动环一侧表面设置有环形管，所述环形管一侧设置有吹扫机构；通过设计了气缸、伸缩杆、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管，当晶圆从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫，使得吹扫的更加彻底，保证了空气中的颗粒数不会对晶圆加工后的质量与可靠性造成影响，结构简单，实用性高。性高。

【技术实现步骤摘要】
一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构


[0001]本专利技术涉及传输外接装置
，特别是涉及一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在加工的过程中需要使用到传输外接装置，传输外接装置在使用时会对晶圆进行氮气吹扫，来保证晶圆的质量及可靠性。
[0003]如授权公告号为CN112845298A的专利技术所公开的一种纳米晶圆产品氮气保护清洗方法，其虽然采用氮气吹送，在雾状水的表面形成气体保护膜，保持液体的表面能，阻挡液滴分子团聚，保证了纳米晶圆的清洗效果，但是氮气清洗时，对晶圆的覆盖不够全面，清洗的效果不够彻底，为此我们提出一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本专利技术提供一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构，通过设计了气缸、伸缩杆、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管，当晶圆从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫，使得吹扫的更加彻底，保证了空气中的颗粒数不会对晶圆加工后的质量与可靠性造成影响，结构简单，实用性高。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构，包括结构主体、晶圆、夹持机构与连接构件，所述连接构件一侧设置有连接杆，所述连接杆底端设置有气缸，所述气缸底端设置有伸缩杆，所述伸缩杆底端设有移动座，所述移动座内侧底部设有驱动机构，所述驱动机构的输出端传动连接有传动轴，且所述传动轴末端连接有转动环，所述转动环一侧表面设置有环形管，所述环形管一侧设置有吹扫机构。
[0006]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述驱动机构包括伺服电机，所述伺服电机顶端设置有主动轴，所述主动轴处于移动座内侧开设的限位槽内，且所述主动轴表面顶端连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮顶部啮合连接第一锥齿轮，所述第一锥齿轮一端连接于传动轴，所述传动轴表面设有第一轴承，所述吹扫机构包括喷气管，且所述环形管顶端设置有氮气进气管。
[0007]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮为啮合连接，且所述第一锥齿轮与第二锥齿轮垂直分布。
[0008]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述第一轴承内圈固定连接传动轴表面，且所述第一轴承外圈固定连接限位槽内侧表面。
[0009]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述主动轴中部表面套设有第二轴承。
[0010]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述环形管与氮气进气管相连通，且所述环形管同时与喷气管相连通。
[0011]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述喷气管的数量共设置有三个，且三个所述喷气管呈四十五度角向内侧倾斜。
[0012]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述第二轴承内圈固定连接主动轴表面，且所述第二轴承外圈固定连接限位槽内侧表面。
[0013]与现有技术相比，本专利技术能达到的有益效果是：
[0014]通过设计了气缸、伸缩杆、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管，当晶圆从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫，使得吹扫的更加彻底，保证了空气中的颗粒数不会对晶圆加工后的质量与可靠性造成影响，结构简单，实用性高。
附图说明
[0015]图1为本专利技术的整体正视结构示意图；
[0016]图2为本专利技术图1中A处放大结构示意图；
[0017]图3为本专利技术的转动环侧视结构示意图；
[0018]其中：1、结构主体；2、晶圆；3、夹持机构；4、连接构件；5、连接杆；6、气缸；7、伸缩杆；8、氮气进气管；9、移动座；10、伺服电机；11、转动环；12、环形管；13、喷气管；14、传动轴；15、限位槽；16、第一轴承；17、第一锥齿轮；18、第二锥齿轮；19、主动轴；20、第二轴承。
具体实施方式
[0019]为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本专利技术，但下述实施例仅仅为本专利技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本专利技术的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
[0020]实施例:
[0021]如图1、图2、图3所示，一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构，包括结构主体1、晶圆2、夹持机构3与连接构件4，连接构件4一侧设置有连接杆5，连接杆5底端设置有气缸6，气缸6底端设置有伸缩杆7，伸缩杆7底端设有移动座9，移动座9内侧底部设有驱动机构，驱动机构的输出端传动连接有传动轴14，且传动轴14末端连接有转动环11，转动环11一侧表面设置有环形管12，环形管12一侧设置有吹扫机构，驱动机构包括伺服电机10，伺服电机10顶端设置有主动轴19，主动轴19处于移动座9内侧开设的限位槽15内，且主动轴19表面顶端连接有第二锥齿轮18，第二锥齿轮18顶部啮合连接第一锥齿轮17，第一锥齿轮17一端连接于传动轴14，传动轴14表面设有第一轴承16，吹扫机构包括喷气管13，且环形管12顶端设置有氮气进气管8；
[0022]当需要使用氮气对晶圆2表面进行吹扫时，首先将气缸6与伺服电机10打开，气缸6开启后，通过伸缩杆7的作用，使得移动座9上下运动，伺服电机10开启后，伺服电机10带动主动轴19转动，主动轴19通过第二轴承20的作用在原地进行旋转，主动轴19同时通过第二锥齿轮18带动第一锥齿轮17转动，第一锥齿轮17通过第一轴承16的作用，使得传动轴14在原地转动，传动轴14在转动的过程中，带动转动环11同时运动，转动环11在运动时，氮气进
气管8内部的氮气会通过环形管12与喷气管13的作用下，对晶圆2表面进行吹扫，完成操作；通过设计了气缸6、伸缩杆7、氮气进气管8、伺服电机10、转动环11、环形管12、喷气管13，当晶圆2从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆2表面进行全方面的吹扫，使得吹扫的更加彻底，保证了空气中的颗粒数不会对晶圆2加工后的质量与可靠性造成影响，结构简单，实用性高。
[0023]在其他实施例中，本实施例公开了第一锥齿轮17与第二锥齿轮18，请如图2所示，第一锥齿轮17与第二锥齿轮18为啮合连接，且第一锥齿轮17与第二锥齿轮18垂直分布；使得第二锥齿轮18在转动时，可以更好的带动第一锥齿轮17进行转动。
[0024]在其他实施例中，本实施例公开了第一轴承16，请如图2所示，第一轴承16内圈固定连接传动轴14表面，且第一轴承16外圈固定连接限位槽15内侧表面；使得传动轴14在受到力的作用时，可以保持在原地进行转动。
[0025]在其他实施例中，本实施例公开了第二轴承20，请如图2所示，第二轴承20内圈固定连接主动轴19表面，且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构，包括结构主体(1)、晶圆(2)、夹持机构(3)与连接构件(4)，其特征在于，所述连接构件(4)一侧设置有连接杆(5)，所述连接杆(5)底端设置有气缸(6)，所述气缸(6)底端设置有伸缩杆(7)，所述伸缩杆(7)底端设有移动座(9)，所述移动座(9)内侧底部设有驱动机构，所述驱动机构的输出端传动连接有传动轴(14)，且所述传动轴(14)末端连接有转动环(11)，所述转动环(11)一侧表面设置有环形管(12)，所述环形管(12)一侧设置有吹扫机构。2.根据权利要求1所述的一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构，其特征在于，所述驱动机构包括伺服电机(10)，所述伺服电机(10)顶端设置有主动轴(19)，所述主动轴(19)处于移动座(9)内侧开设的限位槽(15)内，且所述主动轴(19)表面顶端连接有第二锥齿轮(18)，所述第二锥齿轮(18)顶部啮合连接第一锥齿轮(17)，所述第一锥齿轮(17)一端连接于传动轴(14)，所述传动轴(14)表面设有第一轴承(16)，所述吹扫机构包括喷气管(13)，且所述环形管(12)顶端设置有氮气进气管(8)。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈兆荣，
申请(专利权)人：赛林斯弥无锡电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：