一种用于抛光垫的修整装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供的一种用于抛光垫的修整装置，属于抛光技术领域，包括：基座，基座上具有向外伸出的连接杆；修整辊，通过安装架连接在连接杆上，修整辊可轴向转动的设于安装架上；修整辊具有用于修整抛光垫的工作段，该工作段的长度不小于抛光垫的半径；第一驱动件，设于所述安装架上，用于驱动所述修整辊转动。本发明专利技术的修整装置在修整过程中，第一驱动件驱动修整辊进行自转，修整辊在待修整区域内的线速度保持恒定、且在待修整区域的各个部位停留的时间也一致，使抛光垫各处的修整量均匀。另外，修整辊与抛光垫为线接触，易控制修整辊与抛光垫压紧，且易使抛光垫各部位的受力更加均匀，进一步使抛光垫各处的修整量均匀一致。步使抛光垫各处的修整量均匀一致。步使抛光垫各处的修整量均匀一致。

【技术实现步骤摘要】
一种用于抛光垫的修整装置


[0001]本专利技术涉及抛光
，具体涉及一种用于抛光垫的修整装置。

技术介绍

[0002]化学机械抛光平坦化(Chemical Mechanical Planarization,CMP)设备中晶圆在粗糙的抛光垫表面抛光晶圆，随着抛光时间的延长，抛光垫表面被磨平，失去抛光的效果，需要有带有砂轮盘的修整器对抛光垫表面修整，使抛光垫表面粗糙有摩擦力，使之继续拥有抛光的功能。
[0003]目前，修整装置主要包括：基座、摆臂、主动带轮、从动带轮、砂轮盘以及轴承座；摆臂的一端连接在基座的顶端的旋转座上，摆臂另一端连接在轴承座上，摆臂摆动间接带动轴承座的摆动；砂轮盘转动设于轴承座上，砂轮盘的顶端连接有从动带轮，主动带轮设置在基座上，主动带轮与从动带轮通过皮带进行绕接。
[0004]上述的修整装置，砂轮盘依靠皮带进行旋转，实现对抛光垫进行修整；在砂轮盘旋转的过程中，摆臂一直处于摆动状态，以使砂轮盘接触到抛光垫的整个待修整面。摆臂自身摆动，会导致修整接触区域速度不可控，修整不同的区域之间的时间也不同，所以抛光垫修本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于抛光垫的修整装置，其特征在于，包括：基座(1)，所述基座(1)上具有向外伸出的连接杆(3)；修整辊(2)，通过安装架(5)连接在所述连接杆(3)上，所述修整辊(2)可轴向转动的设于所述安装架(5)上；所述修整辊(2)具有用于修整抛光垫的工作段，该工作段的长度不小于抛光垫的半径；第一驱动件(4)，设于所述安装架(5)上，用于驱动所述修整辊(2)转动。2.根据权利要求1所述的用于抛光垫的修整装置，其特征在于，所述连接杆(3)可上下活动地连接在所述基座(1)上，所述连接杆(3)用于调节所述修整辊(2)对抛光垫的压力。3.根据权利要求2所述的用于抛光垫的修整装置，其特征在于，所述连接杆(3)上具有沿其长度方向依次分布的第一连接部(6)、第二连接部(7)以及第三连接部(8)，所述第一连接部(6)铰接在所述安装架(5)上，所述第二连接部(7)铰接在所述基座(1)上，还包括：第二驱动件(9)，设于所述基座(1)，所述第二驱动件(9)具有可下上移动的推杆，该推杆与所述第三连接部(8)铰接，所述第二驱动件(9)用于驱动所述连接杆(3)上下摆动。4.根据权利要求3所述的用于抛光垫的修整装置，其特征在于，所述第一连接部(6)与所述第二连...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑宗浩，李伟，周博伦，尹影，
申请(专利权)人：北京烁科精微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：