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本发明提供的一种用于抛光垫的修整装置，属于抛光技术领域，包括：基座，基座上具有向外伸出的连接杆；修整辊，通过安装架连接在连接杆上，修整辊可轴向转动的设于安装架上；修整辊具有用于修整抛光垫的工作段，该工作段的长度不小于抛光垫的半径；第一驱动件...
该专利属于北京烁科精微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京烁科精微电子装备有限公司授权不得商用。

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