【技术实现步骤摘要】
一种多轴光学元件小磨头抛光装备
[0001]本技术主要涉及抛光设备
,尤其涉及一种多轴光学元件小磨头抛光装备。
技术介绍
[0002]近年来,随着现代光学、微电子和固体电子学等相关学科领域的发展,光学系统中的光学零件表面质量精度要求越来越严格,光学零件的超光滑表面抛光技术也成为现在光学加工的重要领域之一。现有的利用小磨头双转子抛光头对工件进行加工的装备对于加工角度的调节范围有限,无法完成复杂加工。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种具有多轴调节功能的多轴光学元件小磨头抛光装备。
[0004]为解决上述技术问题,本技术采用以下技术方案:
[0005]一种多轴光学元件小磨头抛光装备,包括基座,所述基座顶部固定有冂形架,所述冂形架的下方、于基座顶面沿X轴向滑动安装有工件承台,所述冂形架上沿Y轴向滑动安装有升降架,所述升降架上沿Z轴向可拆卸地滑动安装有用于抛光工件的抛光小磨头机构。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进:
[0007]所 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多轴光学元件小磨头抛光装备,其特征在于:包括基座(1),所述基座(1)顶部固定有冂形架(2),所述冂形架(2)的下方、于基座(1)顶面沿X轴向滑动安装有工件承台(3),所述冂形架(2)上沿Y轴向滑动安装有升降架(4),所述升降架(4)上沿Z轴向可拆卸地滑动安装有用于抛光工件的抛光小磨头机构(5)。2.根据权利要求1所述的多轴光学元件小磨头抛光装备,其特征在于:所述抛光小磨头机构(5)包括驱动器(51)和与驱动器(51)的输出轴相连、用于抛光工件的小磨头(52)。3.根据权利要求2所述的多轴光学元件小磨头抛光装备,其特征在于:所述基座(1)顶面沿X轴向凸出设有一对平行立板(11),所述立板(11)顶面安装有用于与工件承台(3)滑动配合的第一滑轨(12);所述立板(11)的空隙内安装有用于驱动工件承台(3)移动的第一驱动机构(13)。4.根据权利要求3所述的多轴光学元件小磨头抛光装备,其特征在于:所述冂形架(2)包括两根立柱(21)和跨设于立柱(21)顶端的横梁(22);所述横梁(22)用于安装升降架(4)的一侧沿长度方向形成内凹槽(23),所述内凹槽(23)的槽壁端面安装有用于与升降架(4)滑动配合的第二滑轨(24);所述内凹槽(23)内安装有用于驱动升降架(4)移动的第二驱动机构(25)。5.根据权利要求4所述的多轴光学元件小磨头抛光装备,其特征在于:所述升降架(4)包括固定架(41)和活动架(42);所述固定架(41)与第二滑轨(24)沿横梁(22)长度方向滑动相连,所述活动架(42)沿Z轴向可滑动地与...
【专利技术属性】
技术研发人员:ꢀ七四专利代理机构,
申请(专利权)人:湖南诺贝斯特科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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